徐敏

作品数：2被引量：8H指数：1
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供职机构：大连理工大学更多>>
发文主题：微流控芯片热压电化学蠕变有限元分析更多>>
发文领域：理学电子电信环境科学与工程电气工程更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《中国机械工程》更多>>
所获基金：辽宁省博士科研启动基金国家高技术研究发展计划更多>>
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聚合物微结构热压成形温度有限元分析被引量：8
《传感技术学报》2006年第05B期2015-2017,2021,共4页徐敏 罗怡 王晓东 李楠 刘冲 
辽宁省博士启动基金资助(20041073)
聚合物微流控芯片的热压成形中,温度、压力和时间是三个主要的工艺参数,其中温度对聚合物的粘弹性影响最大.研究了不同温度下,PMMA材料的蠕变特性,基于广义kelvin蠕变模型拟合材料的蠕变曲线,得到材料的蠕变柔量及延迟时间.根据材料的...
关键词：热压 蠕变 松弛 有限元分析 
集成Pt电极电化学微流控芯片制作工艺研究
《中国机械工程》2005年第z1期94-95,共2页罗怡 刘冲 刘军山 徐敏 
国家863高技术研究发展计划资助项目(2004AA404260);辽宁省博士启动基金资助项目(20041073)
研究了一种集成Pt电极的安培型电化学微流控芯片的制备方法.在清洗后的SODA-LIME玻璃上涂敷正性光刻胶光刻,显影后开窗于微电极图形部分,利用射频溅射台溅射Pt后,采用剥离的方法得到Pt微电极.在另一玻璃基片上采用湿法腐蚀的方法得到微...
关键词：电化学 微流控芯片 剥离工艺 
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