一种微小型电磁驱动流体控制阀的研究  

Research on a Miniature Valve Driven by an Electromagnetic Actuator

作　　者：朱常兴[1] 李勇[1] 陈旭鹏[1] 叶雄英[1] 周兆英[1] 

机构地区：[1]清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084

出　　处：《中国机械工程》2005年第z1期99-101,共3页China Mechanical Engineering

摘　　要：介绍了一种微小型电磁驱动常闭微流体控制阀的设计和制作方法,该阀采用MEMS工艺与精密加工相结合的方法制作微型阀的核心部件--电磁致动器和阀芯,实现了微小流量控制和结构小型化,并通过实验对微型阀进行了特性测量.该阀具有工作电压小(2～3V)、功耗低、结构尺寸小(体积为3.0cm3)、流量小(0.3MPa时体积流量小于0.23mL/s)等特点.

关 键 词：MEMS 微型阀 微小流量控制 电磁致动器 

分 类 号：TP271.3[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]