气囊驱动硅微针尖阵列微量药物输送执行器的研究  

Research on Silicon Microneedle Array Driven by Micro Gas Chamber for Drug Delivery

作　　者：陈绍凤[1] 赵湛[1] 秦宁[1] 陈贤祥[1] 

机构地区：[1]中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080

出　　处：《中国机械工程》2005年第z1期114-115,共2页China Mechanical Engineering

基　　金：国家自然科学基金资助项目(20299030,90307014);国家863高技术研究发展计划资助项目(2002AA404230)

摘　　要：论述了一种用于生化微系统中药物释放的系统,即气囊驱动微量药物输送执行器,通过此驱动系统可以达到局部输送药物的目的.利用微针阵列实行局部定时地释放药物、控制药量,微针阵列的研制是微驱动器的关键.执行器的微针部分采用硅-氮化硅-硼硅玻璃-金属(钛、镍、金)材料,利用MEMS技术研制,驱动部分利用硅-PDMS材料作气囊,主要介绍了微针的结构和气囊制作的工艺技术.气囊驱动的微执行器为生化微系统研究提供了一个技术方案,为实现局部定时释放药物、控制药量提供了可行的手段和方法.

关 键 词：微针阵列 信息采集 药物输送执行器 生化微系统 

分 类 号：TP271.4[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]