秦宁

作品数：3被引量：1H指数：1
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供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
发文主题：微针MEMS电磁驱动SU-8胶硅更多>>
发文领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《仪器仪表学报》《中国机械工程》《微纳电子技术》更多>>
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气囊驱动硅微针尖阵列微量药物输送执行器的研究
《中国机械工程》2005年第z1期114-115,共2页陈绍凤 赵湛 秦宁 陈贤祥 
国家自然科学基金资助项目(20299030,90307014);国家863高技术研究发展计划资助项目(2002AA404230)
论述了一种用于生化微系统中药物释放的系统,即气囊驱动微量药物输送执行器,通过此驱动系统可以达到局部输送药物的目的.利用微针阵列实行局部定时地释放药物、控制药量,微针阵列的研制是微驱动器的关键.执行器的微针部分采用硅-氮化硅...
关键词：微针阵列 信息采集 药物输送执行器 生化微系统 
基于SU-8胶的微针执行器的研制被引量：1
《仪器仪表学报》2004年第z3期104-106,共3页秦宁 赵湛 张博军 陈绍凤 夏善红 
863计划资助项目(2002AA404230)。
利用MEMS技术设计和制作了一种微量取样执行器。执行器由微针、微通道、反应室、电极以及永磁微阵列等各部分组成,通过外部磁场可以实现双向线性地驱动。利用SU - 8光刻胶为主要材料,采用多级曝光和电铸金属实现3D结构的工艺技术,研制...
关键词：SI-8胶 微针执行器 MEMS 
SU-8微针执行器的研究
《微纳电子技术》2003年第7期474-476,共3页秦宁 赵湛 陈绍凤 夏善红 
863计划 (2 0 0 2AA40 42 3 0 );国家自然科学基金 (2 0 2 990 3 0 );973计划 (B19990 3 3 10 2 )资助项目
设计和采用MEMS工艺技术制作了一种由电磁驱动的微量取样执行器。执行器的结构包括微针、通道、反应室、电极以及永磁微阵列等。通过外部磁场可以实现双向线性驱动。本文主要介绍了利用SU 8光刻胶材料 ,采用多级曝光实现 3D结构的工艺技...
关键词：SU-8光刻胶材料 微针执行器 电磁驱动 微量取样执行器 MEMS 
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