一种基于MEMS技术的红外热探测器研究与设计  

Design and Study of IR Microcantilever Thermal Detector Based On MEMS

作　　者：王佳能[1] 温志渝[1] 张流强[1] 

机构地区：[1]重庆大学,重庆,400044 重庆大学,重庆,400044 重庆大学,重庆,400044

出　　处：《中国机械工程》2005年第z1期235-237,共3页China Mechanical Engineering

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60307006)

摘　　要：为了提高传统探测器的响应度和灵敏度,利用微机电系统(MEMS)的方法设计了一个微梁红外热探测器.对硅基微悬臂梁红外热探测器的工作原理进行了详尽的分析.设计了一个实验平台来测量微悬臂梁的变形,实验结果表明,基于MEMS技术的红外热探测器有良好的性能.

关 键 词：MEMS 微悬臂梁 优化设计 响应时间 灵敏度 

分 类 号：TH811[机械工程—仪器科学与技术] TH89[机械工程—精密仪器及机械]