静电式MEMS光开关新器件设计开发流程  

Design Process of Static Electricity Driving Optical Switch

作　　者：王凯[1] 赵新[1] 何维玮[1] 卢桂章[1] 

机构地区：[1]南开大学,天津,300071 南开大学,天津,300071 南开大学,天津,300071 南开大学,天津,300071

出　　处：《中国机械工程》2005年第z1期272-274,共3页China Mechanical Engineering

基　　金：国家863高技术研究发展计划资助项目(2002AA422200,2002AA404030);国家重点基础研究发展计划资助项目(G1999033109);国家自然科学基金资助项目(60475038,60173061);高等学校骨干教师资助计划资助项目;天津市自然科学基金资助项目

摘　　要：在研究MEMS集成系统设计经验的基础上,简要论述了设计流程在MEMS设计中的重要性,提出静电式光开关新器件的开发流程,并以悬臂梁式MEMS光开关为例,进行了理论分析、静电-结构耦合场分析、材料选择、结构参数优化和控制电路设计等方面的研究.所提出的设计开发流程也适用于静电驱动的其他器件的开发,如RF-MEMS器件.

关 键 词：开发流程 静电式光开关 优化设计 MEMS 

分 类 号：TN402[电子电信—微电子学与固体电子学]