用磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO透明导电膜  

Transparent conducting ZnO films prepared on organic substrate by r.f. magnetron-sputtering.

作　　者：王军华[1] 

机构地区：[1]潍坊学院,山东潍坊261061

出　　处：《潍坊学院学报》2004年第6期4-6,共3页Journal of Weifang University

基　　金：潍坊学院自然科学基金资助项目

摘　　要：本文介绍了磁控溅射的原理以及磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO透明导电膜 的实验方法。The magnetron-sputtering principles and the experimental method to prepare transparent conducting ZnO films on organic substrate by r.f. magnetron-sputtering were introduced in the paper.

关 键 词：磁控溅射 柔性衬底 ZNO 

分 类 号：O484[理学—固体物理]