声信号检测微机械阵列传声器滤波特性的研究  

Filtering characteristics of micromachined arrayed microphone on acoustic signal

作　　者：徐道连[1] 钟先信[1] 巫正中[1] 陈文涛[1] 李晓毅[1] 

机构地区：[1]重庆大学,光电工程学院,重庆,400044 重庆大学,光电工程学院,重庆,400044 重庆大学,光电工程学院,重庆,400044 重庆大学,光电工程学院,重庆,400044 重庆大学,光电工程学院,重庆,400044

出　　处：《光学精密工程》2004年第z1期40-43,共4页Optics and Precision Engineering

摘　　要：在传统的声信号检测中,声电转换由传声器完成,滤波由专用电子滤波器完成.近年来,随着硅微机电系统(MEMS)技术的发展,已经开始把该技术用于微传声器的制造.在研究了当前几种硅微机械传声器的基础上,提出了一种全新的微机械阵列传声器,该装置在转换信号的同时实现滤波,并进一步讨论了阻尼和硅簧片根数对滤波特性的影响,阻尼的增加会降低该滤波器的灵敏度,簧片根数的增加则可以改善滤波效果.对硅微机械阵列传声器的研究,利于传感、滤波和分析一体化的智能声级计的实现.

关 键 词：微机械 传声器 滤波器 

分 类 号：TN641[电子电信—电路与系统]