复合腔结构微机械高Q谐振器研究  

Micromechanical high-Q resonator based on hybrid cavity

作　　者：潘武[1] 陈艳[1] 李应良[1] 

机构地区：[1]重庆邮电学院,微光机电系统研究所,重庆,400065 重庆邮电学院,微光机电系统研究所,重庆,400065 重庆邮电学院,微光机电系统研究所,重庆,400065

出　　处：《光学精密工程》2004年第z1期49-53,共5页Optics and Precision Engineering

基　　金：重庆市教委科学技术研究项目(No.020508);重庆邮电学院博士科研基金项目(No.A2002-36)

摘　　要：设计了一种具有高品质因数和小尺寸的12.12 GHz的新颖复合腔结构的微机械谐振器,获得了相关测试数据.将高介电常数材料填入微机械复合腔结构,解决限制高Q值的介质损耗问题.谐振腔的馈电通过具有2个特征阻抗为50Ω的微带线与耦合缝实现,通过优化耦合缝位置和微带线参数,提出有利于微小结构的馈电解决方案.利用AnsoftHFSS软件对谐振器的电磁特性参数作了仿真分析.利用标准微细加工工艺在硅片上制造此复合结构谐振器和相关电路,利用键合技术完成结构组装,获得较光滑腔壁,降低损耗和提高谐振器性能.此类谐振器将为现代无线通信系统提供一种低成本、小尺寸以及制造平面型窄带滤波器和双工器的微型化解决方案.

关 键 词：微机械谐振器 复合腔 薄膜微带线 耦合缝 

分 类 号：TN752[电子电信—电路与系统]