微机械谐振器

作品数：28被引量：49H指数：4
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参激微机械谐振器幅频响应的翘尾效应及其电热调控被引量：1
《动力学与控制学报》2024年第10期51-58,共8页刘中华 徐友良 宦荣华 
国家自然科学基金资助项目(12172323);浙江省自然科学基金重点项目(LZ22A020003)。
静电参激的微机械谐振器具有响应幅值大、相位噪声小等优势,近年来成为MEMS动力学领域研究热点.本文研究了微机械梁谐振器在强静电参激下的高阶非线性响应及基于电热电流的响应调控方法.首先,实验发现强静电力参数激励下微机械梁谐振器...
关键词：MEMS谐振器 参激共振 非线性 幅频响应 
微机械谐振器温度特性分析及频率漂移补偿被引量：1
《中国惯性技术学报》2023年第3期275-281,291,共8页刘恒 郭月圆 张玉 
国家重点研发计划(2019YFC1804704)。
针对微机械谐振器工作温度的变化导致谐振频率漂移问题,提出了基于RBF神经网络的频率漂移补偿方法。首先理论分析了微机械谐振器的温度特性:在10~90℃范围内,计算得到杨氏模量随温度变化而导致的频率漂移为-1.325Hz/℃,有限元仿真漂移为...
关键词：微机械谐振器 温度特性 频率补偿 神经网络 
基于电压约束的微机械谐振器幅-频耦合抑制方法被引量：2
《中国惯性技术学报》2023年第2期189-196,共8页刘恒 郭月圆 张玉 
国家重点研发计划(2019YFC1804704)。
针对微机械谐振器中存在的幅度-频率耦合带来振动稳定性变差的问题,提出了一种闭环自激控制的直流参考电压约束方法来抑制谐振器振幅。首先,从理论上分析了决定谐振器临界振幅的因素,利用计算机视觉辅助测量方法和高频方波调制方法获得...
关键词：微机械谐振器 幅度-频率耦合 频谱 边带比 自动增益 
一种非完全覆盖多镀层微圆板谐振器热弹性阻尼通用计算框架
《振动与冲击》2023年第2期235-243,275,共10页杨龙飞 李普 叶一舟 方昱斌 
国家自然科学基金(62104022);MEMS教育部重点实验室(2242020k30039);中国博士后科学基金(2021M691598)。
热弹性阻尼(thermoelastic damping, TED)是决定微机械谐振器品质因子上限的关键参数之一。该研究首次提出了一种计算具有多个非完全覆盖镀层微圆板谐振器TED的通用理论框架。该解析模型可退化到完全覆盖双层微圆板TED模型,数值方法同...
关键词：微机械谐振器 热弹性阻尼(TED) 品质因子 热弹性理论 
基于高迁移率晶体管的氮化镓微机械谐振器
《南通大学学报（自然科学版）》2022年第2期65-72,共8页郭兴龙 朱友华 葛梅 李毅 邓洪海 
国家自然科学基金面上项目(62074086,61874168);国家自然科学基金青年科学基金项目(62004109);江苏省产学研项目(21ZH626)。
文章设计了一款基于氮化镓(GaN)的微机械谐振器。该器件采用氮化镓具有较高的声速和优异的压电系数性质及其二维电子气(two-dimensional electron gas,2DEG)作为可开关嵌入电极,通过压电材料薄膜内正交应力(σ_(x)和σ_(y))产生厚度剪...
关键词：氮化镓 高迁移率晶体管 微机械谐振器 二维电子气 
硅基氮化镓微机械谐振器研究
《微电子学与计算机》2022年第3期101-105,共5页郭兴龙 张玲玲 王九山 
国家自然科学基金(62074086)。
GaN不仅具有与硅媲美的较高声速,而且也有与氮化铝相当(AlN)的大压电系数,所以是制作MEMS谐振器的有力备选材料.研究设计了一款硅基压电氮化镓(GaN)MEMS谐振器.利用GaN中的二维电子气(2DEG)可作为开关嵌入电极的特性,通过GaN压电材料实...
关键词：氮化镓 MEMS谐振器 二维电子气 
超导量子比特耦合微波腔和机械谐振器系统的探测场吸收特性研究被引量：3
《激光与光电子学进展》2022年第3期286-292,共7页喻富 肖添 何高倩 廖庆洪 
国家自然科学基金(62061028);低维量子物理国家重点实验室开放研究基金(KF202010);南昌大学研究生创新专项(CX2019090);安徽大学光电信息获取与控制教育重点实验室开放基金(OEIAM202004)。
提出了一种基于光子-超导量子比特-声子三体复合量子系统相互作用的方案,具体由微波腔和微机械谐振器共同耦合一个超导电荷量子比特构成。基于抽运-探测方法,利用量子朗之万演化方程获得系统一阶线性极化率,研究了超导量子比特耦合微波...
关键词：量子光学 电路量子电动力学 微机械谐振器 探测场吸收特性 
微机械谐振器动力学模态耦合的多尺度诠释
《微纳电子与智能制造》2020年第4期5-13,共9页周鑫 肖定邦 吴学忠 
国家自然科学基金(51905539)项目资助。
微纳谐振器与众多物理场的相互作用是被广泛研究的课题。当前,微纳谐振器本身模态之间的相互作用逐渐成为研究热点,通过参数泵浦实现的动力学模态耦合尤其引人关注。以一种嵌套环式微机械谐振器为研究平台,开展了基于静电参数泵浦的动...
关键词：微机电系统 嵌套环式谐振器 参数泵浦 动力学模态耦合 多尺度摄动法 
微机械陀螺非线性特性的自由衰减振荡测量方法被引量：5
《仪器仪表学报》2016年第11期2465-2472,共8页魏玉淼 董永贵 李昊 
国家自然科学基金(61271129)项目资助
针对微机械陀螺非线性特性的测量问题,研究了一种频率步进式正弦脉冲激励的自由衰减振荡测量方法。在谐振频率附近,采用步进式正弦脉冲序列作为激励信号,得到一组包含系统不同程度非线性动力学特征的自由振动响应信号。通过Hilbert变换...
关键词：微机械陀螺 微机械谐振器 非线性特性 HILBERT变换 骨架曲线 
用于Lamé模态方块谐振器的压控电流源模型
《微纳电子技术》2015年第12期770-778,共9页梁冰 宋亚梅 鲍景富 李昕熠 
国家自然科学基金资助项目(11176006)
提出了一种可以用于Lamé模态方块微机械谐振器的压控电流源模型。推导了器件的电气参数以建立电路模型。模型中还加入了一个压控调谐电容来描述谐振器的频率非线性特性。该电容值和模型中的其他参数既可以通过理论计算也可以通过不同...
关键词：压控电容 压控电流源(VCCS)模型 非线性 微机械谐振器 等效参数 
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