磁悬浮精密定位工作台设计与有限元综合分析  

Design and finite element analysis of magnetic levitation precision stage

作　　者：王延风[1] 卢志山[1] 何惠阳[1] 宋文荣[1] 

机构地区：[1]中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033

出　　处：《光学精密工程》2004年第z2期217-222,共6页Optics and Precision Engineering

摘　　要：利用磁悬浮技术将工作台悬浮在导轨上,消除了摩擦和磨损,采用直线电机无接触驱动实现了工作台的精密定位.针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机的磁悬浮精密定位工作台进行了CAD结构设计,有限元电磁场分析,在采用有限元软件Ansys进行磁悬浮系统电磁场分析的基础上,将磁力计算结果调入CAE软件MSC PATRAN/NASTRAN中,磁力计算与结构力学综合分析计算,合理地评价了磁悬浮移动平台的性能.进行了磁悬浮工作台的模态测试,模态测试结果与有限元分析结果相符合,证明了文中的建模方法及分析计算结果是正确的.通过有限元分析与模态测试,找出了薄弱环节,对结构进行了改进.

关 键 词：CAD/CAE 磁悬浮 直线电机 光刻机 有限元法 电磁场分析 结构力学分析 模态分析 模态测试 

分 类 号：TP391.72[自动化与计算机技术—计算机应用技术]