卢志山

作品数：4被引量：6H指数：1
导出分析报告
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：磁悬浮CAD/CAE电磁场分析微进给机构工作台设计更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程电气工程更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《电光与控制》《机械设计与研究》更多>>
所获基金：吉林省自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-4
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
磁悬浮微进给机构电磁场研究
《电光与控制》2004年第3期23-25,共3页杨秀华 王延风 卢志山 
　针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机而设计了磁悬浮微进给机构,并对它进行了电磁场耦合分析及解耦控制,准确综合地研究磁悬浮系统。在不计漏磁的简单磁路、磁力计算基础上,采用有限元分析软件ANSYS对电磁场进行有限元分析,得到考...
关键词：CAD/CAE 磁悬浮 直线电机 光刻机 有限元法 
基于PMAC的磁悬浮微进给机构的控制
《光学精密工程》2004年第z2期250-253,共4页卢志山 王延风 何惠阳 宋文荣 张德龙 
针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机的快速步进、精密定位需求,研制出一种新型磁悬浮微进给机构,实现了运动部件与运行导轨之间的无接触支撑,消除了摩擦与磨损,克服了摩擦产生的金属粉尘污染问题.通过PID特性分析并利用PMAC运动控制...
关键词：磁悬浮微机给机构 PID控制 PMAC 
磁悬浮精密定位工作台设计与有限元综合分析被引量：1
《光学精密工程》2004年第z2期217-222,共6页王延风 卢志山 何惠阳 宋文荣 
利用磁悬浮技术将工作台悬浮在导轨上,消除了摩擦和磨损,采用直线电机无接触驱动实现了工作台的精密定位.针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机的磁悬浮精密定位工作台进行了CAD结构设计,有限元电磁场分析,在采用有限元软件Ansys进行...
关键词：CAD/CAE 磁悬浮 直线电机 光刻机 有限元法 电磁场分析 结构力学分析 模态分析 模态测试 
磁悬浮纳米级步进扫描工作台CAD/CAE设计研究被引量：5
《机械设计与研究》2004年第1期77-80,共4页王延风 卢志山 宋文荣 田兴志 何惠阳 
吉林省 2 0 0 2年度自然科学基金资助项目 (2 0 0 2 0 62 1)
采用CAD/CAE技术手段设计了一种新型磁悬浮超精密工作台 ,它是针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机而研制的快速步进、精密定位机构。利用磁悬浮技术将工作台悬浮在X、Y导轨上 ,消除了导轨的摩擦和磨损 ;直线电机无接触驱动实现了工...
关键词：CAD CAE 磁悬浮 光刻 定位精度 有限元法 电磁场分析 模态分析 测试 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部