基于PMAC的磁悬浮微进给机构的控制  

Manipulative system for magnetic levitation micro feed mechanism via PMAC

作　　者：卢志山[1] 王延风[1] 何惠阳[1] 宋文荣[1] 张德龙[1] 

机构地区：[1]中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033

出　　处：《光学精密工程》2004年第z2期250-253,共4页Optics and Precision Engineering

摘　　要：针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机的快速步进、精密定位需求,研制出一种新型磁悬浮微进给机构,实现了运动部件与运行导轨之间的无接触支撑,消除了摩擦与磨损,克服了摩擦产生的金属粉尘污染问题.通过PID特性分析并利用PMAC运动控制器设计了一套完整的控制系统,详细阐明了整个控制系统的结构与工作原理,通过试验曲线比较说明了该控制系统的准确性,更进一步的说明了磁悬浮微进给机构的合理性.

关 键 词：磁悬浮微机给机构 PID控制 PMAC 

分 类 号：TP273[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]