视觉瞄准激光干涉测量编码型水准尺  

Code-bar grade rod measurement by vision collimation and laser interferometry

作　　者：赵敏[1] 邱宗明[1] 黄秋红[1] 朱凌建[1] 

机构地区：[1]西安理工大学机械与精密仪器工程学院,陕西西安710048

出　　处：《光学精密工程》2008年第3期537-542,共6页Optics and Precision Engineering

基　　金：陕西省自然科学基础研究计划资助项目(No.2007E210)

摘　　要：针对编码型水准尺分划误差的检测,提出了视觉瞄准与双频激光干涉术相结合的测量方法。构建了编码型水准尺的精密检测系统并对瞄准测量方法进行了研究。当被测条码边缘出现在瞄准视场中时,不必微调载尺工作台,即可实现图像和干涉仪测量数据快速采集,并由软件完成瞄准及测量。采用最大方差法分割图像;再使用图像边缘跟踪法,直接寻找检测边缘,从而避开去除噪声的困难;最后应用概率细分方法对条码边缘定位,提高测量分辨率,从而完成条码边缘图像的检测。实验结果表明,该检测系统视觉瞄准标准差为0.23μm,系统稳定性标准差<0.5μm。该瞄准测量方法提高了测量效率,测量精度高于检测要求4倍,保证了编码型水准尺检测的可靠性。该检测系统已成功应用于编码型水准尺的分划误差检测中。In order to inspect the stripe error of code-bar grade rod,a method combining visual collimation with double-frequency laser interferometry is proposed.A precise measurement system of code-bar grade rod is designed and the method of collimation and measurement is researched.When the image of code-bar edge presents in collimation area,the image and data of laser interferometer are collected rapidly without moving grade rod carried on workable tardily.Then,the collimation and measurement are completed by soft...

关 键 词：编码型水准尺 视觉瞄准 干涉测量 图像检测 

分 类 号：TN247[电子电信—物理电子学]