激光干涉仪在位置测量中的精度评定  

The Ultimate Accuracy of the Laser Interferometer in Linear Position Measurement

作　　者：邹玲丁[1] 沈雪萍[1] 

机构地区：[1]中国计量科学研究院,北京,100013 中国计量科学研究院,北京,100013

出　　处：《计量学报》2006年第z1期140-141,共2页Acta Metrologica Sinica

摘　　要：激光干涉仪广泛应用于计量、精密机械测量、航空航天工业等领域,国内拥有量超过数千台.由于激光干涉仪使用者的水平、经验和理解各不相同,因错误的认识产生了错误的理解和操作,导致了错误的测量结果,使激光干涉仪不能发挥应有的作用.对激光干涉仪进行检测过程中的错误理解和操作方法进行了分析,发现有些使用者忽视了激光干涉仪的材料温度传感器和材料温度膨胀系数的不确定度对测量结果的影响,造成了测量结果的不正确.有的使用者在短距离内测量是否需要对空气折射率进行修正的问题也有不同的看法.对上述两个问题进行了理论分析.

关 键 词：计量学 激光干涉仪 不确定度 温度 材料膨胀系数 空气折射率 

分 类 号：TB7[一般工业技术—真空技术]