一种用扫描电镜制作表面纳米结构的方法  

Fabrication of Surface Nanostructures Using Scanning Electron Microscope

作　　者：朱念麟[1] 张晋[1] 陈尔纲[1] 柏晗[1] 张茜[1] 王光灿[1] 郭俊梅[1] 窦菊英[1] 

机构地区：[1]云南大学物理系,昆明,650091 云南大学物理系,昆明,650091 云南大学物理系,昆明,650091 云南大学物理系,昆明,650091 云南大学物理系,昆明,650091 云南大学物理系,昆明,650091 贵研铂业股份有限公司,昆明,650221 云南大学物理系,昆明,650091

出　　处：《Journal of Semiconductors》2006年第z1期186-188,共3页半导体学报（英文版）

基　　金：国家自然科学基金(批准号:60261004,60361001,10664006),云南省自然科学基金(批准号:2002E0008M)和北京市传感器重点实验室开放课题(批准号:66062022)资助项目

摘　　要：提出了一种用扫描电镜制作表面量子点、纳米孔和纳米线阵列的方法,该方法是在数字式扫描电镜的阴极自偏压电路中串联一个可控的负电压发生器,其内阻远小于自偏压电阻;用扫描电镜本身的行扫描时钟信号作为控制信号,经倍频和放大,加到电子枪栅极上控制电子束的通断,使电子束由连续扫描变为规则的点、线扫描,不需用模板即可以"直写"方式在涂有电子束光刻胶(PMMA)的样品上实现点、线曝光,形成周期性量子点、纳米孔和纳米线阵列.

关 键 词：数字式扫描电镜 负电压发生器 表面纳米阵列 电子束刻蚀 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]