电子束刻蚀

作品数：19被引量：16H指数：2
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基于类EIT效应的光子晶体全光开关设计分析
《电子技术与软件工程》2022年第12期148-152,共5页高帅华 
本文介绍了基于类EIT效应设计并通过微加工刻蚀技术制备新型光子晶体全光开关,能够在1550nm波段实现较好的开关效果,为光通信领域提供新的设计思路。本文介绍了新型类EIT效应光子晶体全光开关的工作原理、制备方法和性能分析。通过控制...
关键词：全光开关 类EIT效应 KERR效应 电子束刻蚀 
福建物构所基于电子束刻蚀实现中空核壳结构稀土上转换纳米晶的原位构筑
《稀土》2018年第5期134-134,共1页
由于稀土上转换纳米晶具有将近红外光转换成短波长可见-紫外光的上转换发光特性,同时中空核壳结构纳米晶具有高比表面积及丰富可调的孔道结构等优点,中空核壳结构稀土上转换纳米晶在生物传感及成像、药物缓释和医学诊疗等方面具有广泛...
关键词：上转换发光特性 核壳结构 纳米晶 电子束刻蚀 稀土 中空 高比表面积 原位 
福建物构所基于电子束刻蚀实现中空核壳结构稀土上转换纳米晶的原位构筑
《化工新型材料》2018年第10期284-285,共2页
在国家自然科学基金杰出青年科学基金、科技部973计划、中科院战略性先导科技专项和创新国际团队等项目支持下,福建物构所中科院功能纳米结构设计与组装重点实验室陈学元研究小组和王元生研究小组合作,徐金博士等通过电子束辐照核壳结...
关键词：核壳结构 纳米晶 上转换 电子束刻蚀 稀土 福建 杰出青年科学基金 国家自然科学基金 
我国科学家在DNA自组装技术方面取得突破
《石河子科技》2018年第4期21-21,共1页
仿生纳米孔道结构的设计与构建是生物分析、合成化学和限域催化领域的热点。经典的蛋白质纳米孔道结构精确,然而其可控性和稳定性较差;通过电子束刻蚀固态纳米孔道成本高、重复性差、通量低。自组装DNA纳米结构合成纳米孔道具有可编程...
关键词：自组装技术 DNA 科学家 可编程设计 孔道结构 合成化学 电子束刻蚀 纳米孔 
我国科学家在DNA自组装技术方面取得突破
《甘肃科技纵横》2018年第8期103-103,共1页
仿生纳米孔道结构的设计与构建是生物分析、合成化学和限域催化领域的热点。经典的蛋白质纳米孔道结构精确，然而其可控性和稳定性较差；通过电子束刻蚀固态纳米孔道成本高、重复性差、通量低。自组装DNA纳米结构合成纳米孔道具有可编...
关键词：DNA结构 自组装技术 科学家 可编程设计 孔道结构 合成化学 电子束刻蚀 纳米孔 
电子束刻蚀聚碳酸酯制备微孔分离膜
《辐射研究与辐射工艺学报》2016年第3期38-45,共8页王瑛 郝旭峰 吴新锋 周瑞敏 贾少晋 
国家自然科学基金(51403124);中国博士后科学基金(2015M571459);东华大学纤维材料改性国家重点实验室资助课题(LK1419)项目资助~~
以电子束刻蚀技术和聚碳酸酯(Polycarbonate,PC)材料本身的辐照裂解特性,结合微孔掩膜和溶液氧化腐蚀的方法,成功制备了具有规则垂直孔道的PC微孔分离膜。用乌氏粘度计、凝胶渗透色谱仪、仪和傅里叶红外光谱分析仪表征辐照PC的结构和性...
关键词：电子束 刻蚀 聚碳酸酯 分离膜 辐照降解 
基于微芯片的透射电子显微镜的低温纳米精度电子束刻蚀与原位电学输运性质测量被引量：2
《物理学报》2014年第24期369-375,共7页张超 方粮 隋兵才 徐强 王慧 
国家自然科学基金(批准号:61106084;61332003)资助的课题~~
利用微芯片制备技术制备了带有电极的原位电学薄膜芯片,并结合自制的原位透射电镜样品台,实现了低温下透射电子显微镜聚焦电子束对InAs纳米线的精细刻蚀以及不同温度下的原位电学性能测量.研究发现,随着刻蚀区域截面积的减小,纳米线的...
关键词：低温电子束刻蚀 原位透射电子显微镜电学测量 InAs纳米线 库仑阻塞效应 
电子束刻蚀中邻近效应的修正
《佳木斯大学学报（自然科学版）》2013年第6期957-960,共4页肖沛 
以拓展的三高斯邻近效应函数为基础,利用空间图形密度方法对电子刻蚀中的邻近效应进行修正,并对该方法的原理及实现步骤进行了较为详细的介绍.通过和传统的邻近函数为基础得到的修正结果相比,经过拓展后的邻近函数有着更好的修正效果.
关键词：邻近效应 邻近函数 电子束刻蚀 高斯函数 
二维Thue-Morse型准周期光子晶体的制作与光学特性被引量：6
《光学学报》2011年第4期258-263,共6页冯亚萍 周骏 阳明仰 Lucia Petti 林豪 丁海芳 
国家自然科学基金(60977408);宁波市自然科学基金(2008A610001);宁波市国际科技合作项目(2010D10018)资助课题
采用电子束刻蚀技术在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基底上制作高精度、大面积纳米量级的二维Thue-Morse型准周期光子晶体,并且对其远场衍射的光学特性进行了实验研究。同时,根据光的衍射和干涉理论,对二维Thue-Morse型准周期光子晶体的夫琅...
关键词：光学器件 准周期光子晶体 Thue-Morse序列 电子束刻蚀 远场衍射 
电子束刻蚀分步啁啾相位掩模板的优化被引量：2
《光电子．激光》2006年第12期1409-1412,共4页宁提纲 裴丽 刘艳 谭中伟 童治 延凤平 简水生 
国家"863"计划资助项目(2004AA31G200);国家自然科学基金资助项目(60477017);北京市自然科学基金资助项目(4052023);霍英东基金资助项目(91062);教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目
掩模板制造过程中采用的是分步啁啾方法,分步间长度容易出现误差,这种接缝误差是引起啁啾光纤光栅(CFBG)时延纹波的系统误差。理论分析了相位掩模板的接缝误差对CFBG时延纹波的影响。分析表明,对长度为140mm的掩模板采用1.4mm的步长,接...
关键词：光纤通信 啁啾光纤光栅(CFBG) 相位掩模板 分步啁啾 接缝误差 时延纹波 
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