Ag层厚度对NiCo/Ag多层膜的微结构及磁学性能的影响  

Influence of Silver Layer Thickness on Microstructure and Magnetic Properties of NiCo/Ag Multilayers

作　　者：艾家和[1] 耿魁伟[1] 杨国华[1] 曾飞[1] 高阳[1] 潘峰[1] 

机构地区：[1]清华大学材料科学与工程系,先进材料教育部重点实验室,北京,100084 清华大学材料科学与工程系,先进材料教育部重点实验室,北京,100084 清华大学材料科学与工程系,先进材料教育部重点实验室,北京,100084 清华大学材料科学与工程系,先进材料教育部重点实验室,北京,100084 清华大学材料科学与工程系,先进材料教育部重点实验室,北京,100084 清华大学材料科学与工程系,先进材料教育部重点实验室,北京,100084

出　　处：《真空科学与技术学报》2005年第z1期47-50,共4页Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

基　　金：国家自然科学基金(No.50325105,50371040)和中国博士后科学基金(No.2003034116)

摘　　要：采用磁控溅射方法制备了不同Ag层厚度的NiCo/Ag多层膜,研究了Ag层厚度对NiCo/Ag多层膜微结构及其磁学性能的影响.研究结果表明,NiCo/Ag多层膜中NiCo层在FCC的Ag层上准外延生长,为亚稳结构相.该多层膜的晶粒尺寸明显地随着Ag层厚度增加而增大,当Ag层厚度为1.0nm时,多层膜是由约为5 nm纳米晶所组成;当Ag层厚度增加到3.6nm时,多层膜的晶粒尺寸增大到50nm左右.将NiCo层厚度固定为1.8 nm时,Ag层厚度的变化对NiCo/Ag多层膜的磁学性能有很强的影响,当Ag层厚度为1.0 nm时,其易磁化轴倾向垂直于膜面;当Ag层厚度达到2.0 nm时,易磁化轴平行于膜面;当Ag层厚度增厚至3.0 nm以上,多层膜表现出超顺磁特性.

关 键 词：NiCo/Ag磁性多层膜 磁控溅射 微观结构 磁学性能 

分 类 号：O484.4[理学—固体物理]