感应耦合等离子体的功率耦合效率的理论分析与计算  

Simulation of Inductively Coupled Plasma

作　　者：狄小莲 辛煜 宁兆元 

机构地区：[1]苏州大学物理科学与技术学院,薄膜材料省重点实验室,苏州,215006 苏州大学物理科学与技术学院,薄膜材料省重点实验室,苏州,215006 苏州大学物理科学与技术学院,薄膜材料省重点实验室,苏州,215006

出　　处：《真空科学与技术学报》2005年第z1期93-96,共4页Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

基　　金：国家自然科学基金(No.10305008)

摘　　要：基于变压器模型,本文对感应耦合等离子体中线圈产生的空间电场分布、等离子体电阻、电感及功率耦合效率等进行了数值计算.在计算过程中,考虑了低气压等离子体无碰撞随机加热机制的作用.结果表明,同心线圈的感应电场呈中空分布,径向和轴向均呈现很大的不均匀性;功率耦合效率随线圈品质因数Q及耦合系数K的增大而增大.功率耦合效率的理论分析和计算为线圈优化设计提供了依据.

关 键 词：感应耦合等离子体 变压器模型 功率耦合效率 

分 类 号：O539[理学—等离子体物理]