纳米接触问题的连续方法建模与计算  

Nanocontact Continuum Model and Calculation of MEMS

作　　者：张锡义[1] 涂苏龙[2] 樊康旗[3] 

机构地区：[1]青岛理工大学环境与市政工程学院,青岛266033 [2]青岛理工大学国有资产管理处,青岛266033 [3]西安电子科技大学机电工程学院,西安710071

出　　处：《仪器仪表学报》2005年第z2期320-323,共4页Chinese Journal of Scientific Instrument

基　　金：国家自然科学基金(10476019)资助项目。

摘　　要：针对微电子机械系统中的“微碰撞”、“微接触”、“纳米摩擦”等现象,根据Hamaker3个假设和经典弹性理论,采用连续介质力学方法,建立了球-球、球-面接触的弹性物理模型;给出了粘着力引起的球-球、球-面间接触半径的计算方法;指出在分析计算与微观接触有关的问题时必须考虑粘着力。从而为纳米接触、纳米摩擦的进一步研究提供理论基础。Based on the classical theory of elasticity and three Hamaker hypotheses, a elastic contact model of sphere-sphere and sphere-plane adopting continuum method is presented to solve the problems of 'micro collision', 'micro-contact' and 'nano-friction', etc. in microelectromechanical systems. The technique of determination adhesion-caused contact radiuses of sphere-sphere and sphere-palne is proposed. The importance of adhesion is pointed out in the analyses and computations of microcontact-related problems.

关 键 词：微电子机械系统 纳米接触 Hamaker假设 弹性理论 

分 类 号：TH7-55[机械工程—仪器科学与技术]