SOI阵列波导光栅的设计与制作  

作　　者：方青[1] 邱海军[1] 李芳[1] 刘育梁[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所,北京,100083 中国科学院半导体研究所,北京,100083 中国科学院半导体研究所,北京,100083 中国科学院半导体研究所,北京,100083

出　　处：《光电子．激光》2004年第z1期218-220,共3页Journal of Optoelectronics·Laser

基　　金：本项目得到国家自然科学基金项目(编号90104003)基金资助

摘　　要：本文讲述了基于SOI材料的5×5阵列波导光栅(AWG)的设计与器件的制作.设计结果显示,通过选择合适的波导结构可以有效地减小器件的偏振特性;采用合适的弯曲半径,不但可以减小器件的损耗,而且可以降低器件的串扰.器件的测试结果表明,器件的中心波长、通道间隔与设计值基本相符;器件的相邻信导串扰接近10dB.器件初步达到分波的功能.

关 键 词：SOI材料 阵列波导光栅(AWG) 信道间隔 中心波长 相邻信道串扰 

分 类 号：TN2[电子电信—物理电子学]