用作Si基微型传声器中驻极体层的电荷寿命及其表面电导  

Charge stability and surface conductance of electret layer applied in Si-based miniature sonic transducer

作　　者：吴贤勇[1] 付晓明[1] 夏钟福[1] 安振连[1] 张鹏锋[1] 王丽[1] 李军[1] 

机构地区：[1]同济大学,波尔固体物理研究所,上海,200092 同济大学,波尔固体物理研究所,上海,200092 同济大学,波尔固体物理研究所,上海,200092 同济大学,波尔固体物理研究所,上海,200092 同济大学,波尔固体物理研究所,上海,200092 深圳豪恩电声科技有限公司,广东,深圳,518109 深圳豪恩电声科技有限公司,广东,深圳,518109

出　　处：《功能材料》2004年第z1期1494-1496,共3页Journal of Functional Materials

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50073016);德国大众汽车基金会资助的中德合作课题项目(Ref.I/77365)

摘　　要：通过对化学表面修正前后的氮氧化硅复合膜的表面电导率的测量和电荷横向扩散效应的考察,讨论了化学表面修正工艺对样品中电荷横向扩散的抑止作用.借助与未经平面工艺处理的氮氧化硅复合膜大片的对比,研究了这类驻极体功能膜的微型化对其电荷寿命的影响.

关 键 词：微型化 氮氧化硅驻极体 表面电导 电荷稳定性 

分 类 号：O484.4[理学—固体物理]