付晓明

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：同济大学波耳固体物理研究所更多>>
发文主题：微型化表面电导SI基驻极体表面处理更多>>
发文领域：理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《功能材料与器件学报》《功能材料》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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化学表面处理对微型化的氮氧化硅驻极体层电荷储存性能的影响被引量：1
《功能材料与器件学报》2007年第1期13-17,共5页沈莉莉 夏钟福 周涛 付晓明 张晓青 
国家自然科学基金(NO.50503018);中德驻极体合作课题(Ref.I/77365)
研究了化学表面处理对微型化的氮氧化硅膜电荷稳定性的影响,考察了表面处理对脱阱面电荷横向扩散的抑止作用。借助对微型化前后的样品在高温和高湿环境中的表面电位衰减测量的对比,研究了不同试剂的表面处理对微型化样品的电荷储存及其...
关键词：氮氧化硅驻极体 表面处理 微型化 电荷稳定性及其动态特性 
用作Si基微型传声器中驻极体层的电荷寿命及其表面电导
《功能材料》2004年第z1期1494-1496,共3页吴贤勇 付晓明 夏钟福 安振连 张鹏锋 王丽 李军 
国家自然科学基金资助项目(50073016);德国大众汽车基金会资助的中德合作课题项目(Ref.I/77365)
通过对化学表面修正前后的氮氧化硅复合膜的表面电导率的测量和电荷横向扩散效应的考察,讨论了化学表面修正工艺对样品中电荷横向扩散的抑止作用.借助与未经平面工艺处理的氮氧化硅复合膜大片的对比,研究了这类驻极体功能膜的微型化对...
关键词：微型化 氮氧化硅驻极体 表面电导 电荷稳定性 
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