铁电超晶格薄膜  

Ferroelectric super lattice

作　　者：郝兰众[1] 李燕[1] 刘云杰[1] 邓宏[1] 

机构地区：[1]电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054 电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054 电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054 电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054

出　　处：《功能材料》2004年第z1期1533-1536,共4页Journal of Functional Materials

基　　金：国家重点基础研究发展计划(973)

摘　　要：介质铁电超晶格薄膜是一类新型的薄膜材料,已逐渐开始受到重视,成为研究的热点.本文主要分析了铁电超晶格薄膜的结构特点、组分材料、介电铁电性能;介绍了其在实际中的应用以及在近几年的发展;概括了几种常用的介质铁电超晶格薄膜的生长技术及其影响因素;最后对铁电超晶格薄膜的发展和应用前景进行了展望.

关 键 词：铁电超晶格 y薄膜 分子束外延 

分 类 号：TB32[一般工业技术—材料科学与工程]