不同晶体结构氧化钛薄膜性能研究  

Investigation into some properties of different crystalline phasetitanium oxide films

作　　者：徐禄祥[1] 刘艳文[1] 周红芳[1] 冷永祥[1] 黄楠[1] 

机构地区：[1]西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官表面工程重点实验室,四川成都610031

出　　处：《功能材料》2004年第z1期2461-2462,2465,共3页Journal of Functional Materials

基　　金：国家自然科学基金项目资助项目(30318006);国家重点基础研究规划资助项目(G1999064705)

摘　　要：用非平衡磁控溅射技术分别制备了锐钛矿、金红石、锐钛矿和金红石共存结构的氧化钛薄膜.用X射线衍射(XRD)分析薄膜的晶体结构,血小板粘附和凝血因子实验研究薄膜的血液相容性,分光光度计和接触角测量法测试薄膜表面物化性质.研究表明,氧化钛薄膜具有宽禁带的半导体特性,血液相容性优于热解碳.金红石结构氧化钛薄膜由于其与血浆白蛋白、血浆纤维蛋白原、血液及水之间有较小的界面张力,自身较低的表面能色散分量与极性分量的比值,加之其宽禁带宽度的n型半导体特性使其具有最优的血液相容性.

关 键 词：非平衡磁控溅射 氧化钛薄膜 血液相容性 界面张力 表面能 半导体特性 

分 类 号：TB7[一般工业技术—真空技术] O53[理学—等离子体物理] O48[理学—物理]