云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 非平衡磁控溅射

非平衡磁控溅射: 作品数：203被引量：741H指数：13; 导出分析报告; 相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>; 相关作者：黄楠王首军宋文龙徐均琪董闯更多>>; 相关机构：西南交通大学大连理工大学西安工业大学中国科学院更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划航天支撑技术基金更多>>

非平衡磁控溅射W掺杂类金刚石薄膜的制备与性能研究: 《真空与低温》2024年第2期112-118,共7页林颖聪梁爽代伟林海天王启民; 广东省自然科学基金(2021A1515011921)。; 为了研究W掺杂对类金刚石薄膜性能的影响,采用非平衡磁控溅射方法,通过改变WC靶功率,在YG6硬质合金基体上制备了5组不同W原子百分数(0%~14%)的含氢类金刚石薄膜(a-C:H:W)。用扫描电镜分析了薄膜的形貌,用拉曼光谱分析了薄膜的微观结构,...; 关键词：磁控溅射 DLC薄膜元素掺杂表面形貌结合力

Si对无序Fe-C合金体系结构与性能的影响: 《鞍钢技术》2023年第6期78-83,共6页刘庆如王佳骥景维军李丽丽刘奇; 海洋装备用金属材料及其应用国家重点实验室基金(HGSKL-USTLN(2022)09)。; 采用非平衡磁控溅射的方法,构建了Fe-C-Si非晶合金体系,详细探讨了Si对该非晶合金体系结构与性能的影响,研究结果表明:Si元素在溅射过程中促进合金非晶化;在退火状态下,Si元素通过碳的有效排出、铁的结晶性升高以及促进Fe3C石墨化等作...; 关键词：Fe-C-Si合金体系非平衡磁控溅射热稳定性耐蚀性能

非平衡磁控溅射CrTiAlN涂层的制备及空蚀性能研究被引量：1: 《表面技术》2023年第10期367-375,共9页刘铭悦黄志全张习羽 Ann Zammit Joseph Buhagiar Glenn Cassar 王建明陈坚; 国家重点研发计划(2019YFE0191500);中马合作项目。; 目的为缓解动力系统金属表面发生的空泡失效问题,提高水下装备推进系统在复杂多变环境中的综合服役性能,将涂层技术用于金属材料的表面防护。方法基于正交实验设计,采用非平衡磁控溅射技术在AISI316不锈钢基体上制备CrTiAlN涂层。采用...; 关键词：磁控溅射 CrTiAlN涂层摩擦磨损腐蚀空蚀

非平衡磁控溅射制备Cr掺杂DLC复合薄膜的高温摩擦学性能被引量：2: 《润滑与密封》2023年第2期7-15,共9页孙建芳陈泽达苏峰华李助军; 国家自然科学基金资助项目(52175168);广东省基础与应用基础研究项目(2022A1515010513);广州市科技计划项目(202102080422)。; 元素掺杂是提升DLC薄膜摩擦学性能和耐温性能的重要途径。采用直流磁控溅射技术在304不锈钢基体表面沉积了含氢DLC薄膜,同时利用射频磁控溅射技术完成Cr元素的掺杂,研究Cr元素掺杂对DLC薄膜的力学性能及摩擦学性能的影响。采用纳米压痕...; 关键词：磁控溅射 DLC复合薄膜元素掺杂高温摩擦磨损

非平衡磁控溅射离子镀Cu-Nb纳米晶薄膜的微观结构及性能: 《金属热处理》2021年第12期156-161,共6页王钰鹏吴泓均鲍明东田武周兵; 宁波市科技创新2025重点科技项目(0080085190103)。; 研究了Nb含量对纳米晶Cu-Nb薄膜微观结构和性能的影响。使用非平衡磁控溅射离子镀技术,在具有(100)晶面的单晶Si基体和玻璃基体上制备不同Nb含量的Cu-Nb纳米晶薄膜,研究Nb含量对纳米晶Cu-Nb薄膜微观结构和性能的影响。将样品置于卧式真...; 关键词：非平衡磁控溅射 Cu-Nb纳米晶薄膜电学及力学性能热稳定性

磁控溅射Cu-Cr合金薄膜与Sn-Ag-Cu焊料在时效处理时的界面反应被引量：1: 《金属热处理》2021年第11期103-109,共7页王钰鹏吴泓均鲍明东杨文灏赵国华周兵; 宁波市“科技创新2025”重大专项(2018B10066)。; 采用磁控溅射的方式沉积不同Cr含量的Cu-Cr合金薄膜,通过与Sn-Ag-Cu(SAC)焊料在240℃下回焊形成焊点结构,然后将试样置于180℃下进行真空时效处理。研究Cu-Cr合金作为凸点下金属化(UBM)层时与SAC形成焊点的焊接可靠性。使用配备能量色散...; 关键词：非平衡磁控溅射 Cu-Cr合金凸点下金属化层 Sn-Ag-Cu焊料时效处理界面反应

原子氧对非平衡磁控溅射MoS_(2)-Ti复合薄膜真空摩擦学性能的影响被引量：3: 《摩擦学学报》2021年第5期627-635,共9页胡汉军张凯锋周晖刘兴光郑玉刚; 装备预研领域基金项目(61409220205)资助。; 对采用非平衡磁控溅射方法制备的柱状晶MoS_(2)-Ti复合薄膜开展了原子氧(AO)辐照试验.原子氧的平均动能是5 eV,累计辐照通量6.0×10^(22)atoms/cm^(2).原子氧造成薄膜表面出现"绒毯"状形貌,表层的MoS_(2)和内部的低价钛氧化物分别被氧...; 关键词：MoS_(2)-Ti薄膜原子氧辐照真空化学组成摩擦机制

非平衡磁控溅射La-Ti/WS_(2)自润滑薄膜的摩擦磨损行为被引量：6: 《稀有金属材料与工程》2021年第8期2708-2714,共7页蔡海潮薛玉君李航叶军王景华; National Defense Industrial Technology Development Program(JCKY2018419C101);Project of Science and Technology Development of Henan Province(202102210073);Program of Science and Technology of Luoyang City(1901016A)。; 要满足航天器机械转动部件在恶劣工况下的工作,需研制高硬度、低摩擦系数的固体润滑薄膜。采用非平衡磁控溅射法分别制备了纯WS_(2)薄膜、Ti掺杂WS_(2)复合薄膜和La-Ti掺杂WS_(2)复合薄膜。分析了薄膜的微观形貌、成分、硬度和摩擦学性...; 关键词：La-Ti/WS_(2)复合薄膜非平衡磁控溅射减摩耐磨

非平衡磁控溅射TiAlN薄膜的抗高温氧化行为研究被引量：2: 《热喷涂技术》2021年第2期62-68,76,共8页刘安强袁建鹏谢建刚; 采用非平衡磁控溅射技术在Q235钢基体上制备了TiAlN薄膜,通过精密电子天平、纳米力学探针、划痕测试仪及扫描电镜等测试分析,研究了薄膜氧化动力学行为、薄膜显微硬度和结合力的变化规律及不同温度下氧化后薄膜表面形貌演变规律,探讨了T...; 关键词：磁控溅射 TIALN薄膜显微组织显微硬度抗氧化性能

氩气流量对非平衡磁控溅射Ti/WS2复合薄膜结构和摩擦学性能的影响: 《润滑与密封》2020年第8期36-40,46,共6页蔡海潮王景华叶军韩江薛玉君王东峰; 河南省科技攻关项目(202102210073)。; 采用非平衡磁控溅射技术制备Ti/WS2复合薄膜。利用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)、纳米压痕仪和摩擦磨损试验机分别对复合薄膜的微观形貌、成分、硬度以及摩擦磨损性能进行测试,研究氩气流量对Ti/WS2复合薄膜微观形貌和摩擦学性能的影响...; 关键词：非平衡磁控溅射 Ti/WS2复合薄膜摩擦因数流量

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