云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- TIALN薄膜

TIALN薄膜: 作品数：64被引量：187H指数：8; 导出分析报告; 相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>; 相关作者：宋绪丁林小东傅高升赵广彬黄美东更多>>; 相关机构：西华大学长安大学湖北汽车工业学院福建船政交通职业学院更多>>; 相关期刊：《真空科学与技术学报》《真空》《热处理》《热加工工艺》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家科技重大专项湖北省教育厅科学技术研究项目福建省教育厅A类人文社科/科技研究项目更多>>

TiAlN硬质薄膜的制备工艺及结构性能研究进展: 《真空》2024年第2期29-36,共8页徐照英张腾飞王锦标陈巧旺; 重庆市教育委员科技项目(KJQN202101303);重庆市自然科学基金面上项目(cstc2020jcyj-msxmX0069,2023NSCQ-MSX0711)。; 硬质TiAlN薄膜作为最有前途的TiN薄膜替代材料,具有比TiN薄膜更高的硬度、低摩擦因数、良好的高温稳定性和耐腐蚀性等优异性能,在石油、刀具、模具、电力、航空发动机等领域得到广泛应用。本文综述了TiAlN薄膜近年来国内外的应用及发展...; 关键词：TIALN薄膜制备方法结构性能

磁控溅射工艺参数对TiAlN薄膜结构和性能影响规律研究被引量：3: 《稀有金属与硬质合金》2023年第1期70-76,85,共8页李昌恒刘奎仁魏世丞韩庆王博王玉江; 国家科技重大专项(2017-Ⅶ-0012-0109)。; 采用XRD、SEM、纳米压痕仪、纳米划痕仪等分析了磁控溅射工艺参数对TiAlN薄膜物相、微观组织、力学性能及结合力的影响规律。结果表明,所有样品生成相均为面心立方的TiAlN,且在(111)晶面择优生长,薄膜表面形成三棱锥状密排晶粒。选定硬...; 关键词：TIALN薄膜磁控溅射工艺参数正交实验硬度结合力

微米压痕测量TiAlN薄膜断裂韧性的数字孪生方法被引量：1: 《中国表面工程》2022年第5期172-183,共12页蒋智韬高剑英雷明凯; 国家自然科学基金重点联合资助项目(U21B2078); 针对高性能表面层制造的薄膜断裂韧性检测,采用扩展有限元法(XFEM)模拟TiAlN薄膜微米压痕行为,基于数字孪生方法优化薄膜最大起始断裂应力(σ_(max))和相应的裂纹分离距离(δc)参数,根据Griffith-Irwin关系测定薄膜断裂韧性。深振荡磁...; 关键词：TIALN薄膜断裂韧性深振荡磁控溅射数字孪生微米压痕

不同负偏压下多弧离子镀TiAlN薄膜的微观结构与耐腐蚀性研究被引量：1: 《材料保护》2022年第10期118-122,共5页赵磊梁启超刘传龙王天国; 湖北省教育厅科学技术项目(Q20181802)资助。; 目前,关于负偏压对电弧离子镀TiAlN薄膜耐腐蚀性能影响的研究较少,为此,采用电弧离子镀技术在M2高速钢上沉积TiAlN薄膜,分别采用扫描电镜(SEM)、 X射线衍射仪(XRD)、电化学实验等方法研究基体负偏压量对薄膜表面形貌、组织结构和耐腐蚀...; 关键词：负偏压多弧离子镀 TIALN薄膜微观结构耐腐蚀性

Al含量对磁控溅射TiAlN薄膜耐蚀性能的影响被引量：1: 《佳木斯大学学报（自然科学版）》2022年第4期125-127,147,共4页宫名; Al元素掺杂的TiN薄膜具有极高的硬度和耐蚀性能,可用于多种金属基体的表面防护。本文采用直流反应磁控溅射方法,选取Al原子掺杂,以靶材中Al原子比为变量,制备了不同含Al量的TiAlN薄膜。采用涂层附着力划痕实验和电化学腐蚀试验评估了Al...; 关键词：TiAlN膜掺杂附着力耐蚀性能

Cr,Ni的掺杂对TiAlN基薄膜高温摩擦性能的影响被引量：1: 《材料保护》2022年第2期22-29,共8页梁慕林王成磊秦海青肖乐银梁朝杰张可翔谢映光刘伟杰杨纪洁; 国家自然科学基金项目(52161011);广西自然科学基金项目(2018GXNSFAA281244,2020GXNSFAA297060);中国博士后科学基金资助项目(2020M681092);暨南大学灾害预报与控制工程教育部重点实验室项目(20200904006);广东省基础应用与研究基金(2020B1515420004);桂林市科学研究与技术开发计划(2020010903,20210217-6);电子信息材料与器件教育部工程研究中心自主研究基金(EIMD-AB202009);广西电子信息材料构效关系重点实验室项目(211024-Z,211003-K,201016-Z);桂林电子科技大学研究生教育创新项目(2020YCXS118;2022YCXS200)。; 为了开发具有优异抗摩擦磨损性能的薄膜材料,采用多弧离子镀在4Cr13马氏体不锈钢表面沉积TiAlN薄膜,采用磁控溅射法和多弧离子镀在4Cr13表面分别沉积掺杂Cr和Cr-Ni的TiAlN薄膜。采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和维氏硬度计分析薄...; 关键词：TIALN薄膜掺杂高温摩擦性能硬度摩擦磨损

非平衡磁控溅射TiAlN薄膜的抗高温氧化行为研究被引量：2: 《热喷涂技术》2021年第2期62-68,76,共8页刘安强袁建鹏谢建刚; 采用非平衡磁控溅射技术在Q235钢基体上制备了TiAlN薄膜,通过精密电子天平、纳米力学探针、划痕测试仪及扫描电镜等测试分析,研究了薄膜氧化动力学行为、薄膜显微硬度和结合力的变化规律及不同温度下氧化后薄膜表面形貌演变规律,探讨了T...; 关键词：磁控溅射 TIALN薄膜显微组织显微硬度抗氧化性能

镁合金表面电弧离子镀TiAlN薄膜的结构与性能研究被引量：4: 《电镀与精饰》2021年第6期25-29,共5页王晓奇曹慧雷彪; 镁合金抗腐蚀性能差,其腐蚀电位在实用金属中最负。针对这一问题采用表面镀膜的方法,在三组镁合金基体上采用电弧离子镀方法在相同的参数下制备了Al原子掺杂的TiAlN薄膜。通过XRD和SEM研究了不同镁合金基体上薄膜的微观结构;采用电化学...; 关键词：镁合金 TiAlN膜电化学腐蚀结构结合力

AZ31镁合金表面低偏压磁控溅射TiAlN薄膜的结构与耐蚀耐磨性能被引量：3: 《材料保护》2021年第4期118-122,共5页曹慧张发郭玉利; 针对镁合金不抗蚀、不耐磨2大问题,采用直流磁控溅射的方法,通过对基体施加偏压调控,在AZ31镁合金表面制备了TiAlN薄膜。借助XRD和SEM等方法研究了薄膜的微观结构,通过电化学工作站和销盘式摩擦磨损试验机评估了薄膜的耐腐蚀和耐磨性能...; 关键词：AZ31镁合金低偏压调控 TIALN薄膜磁控溅射结构性能

沉积工艺对磁控溅射TiAlN薄膜微观形貌及性能的影响被引量：4: 《热喷涂技术》2021年第1期33-42,21,共11页刘安强袁建鹏谢建刚; 采用非平衡磁控溅射技术在Q235钢基体上制备了TiAlN薄膜,研究了沉积工艺参数对薄膜微观形貌、力学性能及耐腐蚀性能的影响规律,通过扫描电镜、纳米力学探针、划痕测试仪对薄膜的微观形貌和力学性能进行表征,并利用盐雾试验和电化学极化...; 关键词：磁控溅射 TIALN薄膜工艺参数显微组织耐腐蚀性

TIALN薄膜