微热板阵列的热测试和热分析  

THERMAL MEASUREMENT AND ANALYSIS OF MICRO HOTPLATE ARRAY

作　　者：张荣海[1] 顾毓沁[1] 朱德忠[1] 郝京阳[1] 唐祯安[2] 

机构地区：[1]清华大学工程力学系,北京100084 [2]大连理工大学,辽宁大连116023

出　　处：《工程热物理学报》2002年第S1期133-136,共4页Journal of Engineering Thermophysics

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.59995550-5)

摘　　要：集成的阵列式的微传感器是当今传感器发展的一个方向,例如广谱气体传感器,该种传感器需要把多个微热板集成在同一个芯片,形成微热板阵列的器件形式。由于传感器需要在特定的温度条件下工作,因此需要对微热板阵列进行热性能的评估。本文针对研制中的气体传感器的2X2的微热板阵列,用红外热成像技术进行了测试和分析,获得其微小区域的温度分布和一些工作特性,为微传感器的研制和改进提供了实验依据。A micro hotplate array was made by incorporating several micro hotplates into a single chip as an integrated sensor array. The sensing film must operate at a specific high temperature condition (300 ~ 400癈) with a low power consumption. In addition, each hotplate should be independent and all the hotplates should be uniform thermally. Therefore the thermal characteristics of the individual hotplate must be measured. In this work, the temperature distribution in a 2 x 2 micro hotplate array was measured usin...

关 键 词：微热板阵列 微传感器 红外热成像 真实温度分布 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]