张荣海

作品数：4被引量：3H指数：1
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供职机构：清华大学航天航空学院工程力学系更多>>
发文主题：红外热成像热分析热测试MEMS器件温度分布更多>>
发文领域：电子电信动力工程及工程热物理自动化与计算机技术理学更多>>
发文期刊：《清华大学学报（自然科学版）》《工程热物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金香港特区政府研究资助局资助项目更多>>
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用红外热成像技术测量MEMS器件的热特性被引量：3
《工程热物理学报》2003年第4期679-681,共3页朱德忠 张荣海 顾毓沁 郝京阳 
国家自然科学基金(No.59995550-1;59995550-5)
微电子机械系统(MEMS)的很多器件均凭借热工作原理,在其设计、性能评估中都需要了解热特性,特别是温度分布的动静态特性。本文用显微红外热成像技术测试分析了气体传感器微热板、微机械热对流加速度计的微加热器、热驱动微热泵芯片的温...
关键词：MEMS 红外热成像 温度分布 
微热板阵列的热测试和热分析
《工程热物理学报》2002年第S1期133-136,共4页张荣海 顾毓沁 朱德忠 郝京阳 唐祯安 
国家自然科学基金资助项目(No.59995550-5)
集成的阵列式的微传感器是当今传感器发展的一个方向,例如广谱气体传感器,该种传感器需要把多个微热板集成在同一个芯片,形成微热板阵列的器件形式。由于传感器需要在特定的温度条件下工作,因此需要对微热板阵列进行热性能的评估。本文...
关键词：微热板阵列 微传感器 红外热成像 真实温度分布 
采用解耦法和热点法研究集成电路的自热效应
《清华大学学报（自然科学版）》2001年第4期194-198,共5页刘淼 周润德 贾松良 顾毓沁 梁新刚 张荣海 
国家自然科学基金重大资助项目! (5 9995 5 5 0 -0 1)
自热效应对集成电路的性能和功耗有很大的影响。该文以 HSPICE电路模拟程序为电路模拟的基础 ,以改进的热点温度估算方法为热学模拟的基础 ,采用解耦法实现了集成电路的电热耦合时序模拟软件。给定芯片的版图信息和输入信号模式 ,该软...
关键词：集成电路 电热耦合模拟 红外热成像系统 解耦法 热点法 百热效应 
微热板的热测试和热分析
《工程热物理学报》2001年第2期226-228,共3页顾毓沁 张荣海 朱德忠 孙晓毅 阎桂珍 唐祯安 Philip C.H. Chan Johnny K.O. Sin I-Ming Shing 
国家自然科学基金资助项目!(No.59995550-5);香港研究资助局基金资助项目!(No.HKUST6001/98E)
随着近代高新技术的发展，要求各种探测器微型化。微加工技术的进步，使得微器件制造有了可能，于是微传感器就应运而生了。微热板作为一种微型加热器在微传感器中有着极为重要的作用。它的温度分布和热特性直接影响微传感器的工作性能...
关键词：微热板 传感器 红外热成像 热测试 热分析 
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