氮化镓/蓝宝石异质结构中极性的研究  

出　　处：《发光学报》2001年第z1期33-37,共5页Chinese Journal of Luminescence

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60086001);国家重点基础研究项目专项支持(G20000683)

摘　　要：用低压金属有机气相外延方法设备在蓝宝石衬底两个相反取向的C面上同时生长六方相氮化镓薄膜,对此进行了扫描电子显微镜、透射电子显微镜的分析和研究.发现当衬底表面是向籽晶面时,生长的六方相氮化镓薄膜为(0001)取向,而当衬底表面是背籽晶面时,生长的氮化镓薄膜则为(0001)取向.

关 键 词：极性 GaN/A12O3 MOVPE 

分 类 号：TN312.8[电子电信—物理电子学]