CCD激光衍射测径系统的标定方法  

Calibration method for CCD laser diffraction filament diameter measurement system

作　　者：何丽桥[1] 高岩[2] 王国光[1] 

机构地区：[1]吉林大学物理学院,长春130022 [2]吉林大学化学学院,长春130022

出　　处：《吉林大学学报（工学版）》2008年第S1期182-184,共3页Journal of Jilin University:Engineering and Technology Edition

基　　金：高等学校博士学科点专项科研基金项目(20040183024)．

摘　　要：对测量细丝直径在10～40μm的电荷耦合器件激光衍射测径系统提出了两种新的标定方法,并对不同标定方法下的系统进行了测试对比。结果表明,选择恰当的标定方法可以使系统测量精度达到0.15μm。Two new calibration methods for the charge coupled divice(CCD) laser diffraction system to measure the filament diameter in the range of 10～40μm were proposed,and the systems with different calibration methods were tested comparatively.The results show that the system accuracy can reach 0.15μm under appropriate calibration.

关 键 词：光电子学与激光技术 电荷耦合器件 激光衍射 标定方法 细丝 

分 类 号：TN247[电子电信—物理电子学]