带有分割遮拦环形干涉图的波面拟合  

Wavefront fitting method for annular interferogram with obscurations

作　　者：刘克[1,2] 李艳秋[1,3] 刘景峰[1,2] 

机构地区：[1]中国科学院电工研究所,北京100083 [2]中国科学院研究生院,北京100039 [3]北京理工大学,北京100081

出　　处：《红外与激光工程》2008年第S2期778-784,共7页Infrared and Laser Engineering

基　　金：国家自然基金(10674134);教育部长江学者和创新研究团队计划(PCSIRT);国家973计划项目(2003CB716204)

摘　　要：针对干涉测量实验中采集到的带有分割遮拦的环形干涉图,采用Zernike环多项式作为基底函数系对波面数据进行拟合,并对拟合结果进行了理论分析和实验验证。首先,利用相关矩阵,在理论上分析了Zernike环多项式在带有分割遮拦的单位环形区域内的交叉耦合现象。其次,分别采用Zernike圆多项式和Zernike环多项式对实验得到的中心遮拦比ε≈0.504,且带有分割遮拦的环形干涉图进行波面拟合,从拟合残余误差、各项Zernike系数的稳定性、传递矩阵的条件数三个方面,对比分析了两种多项式的拟合精度、可靠性以及抗扰动能力。实验结果表明,对于带有分割遮拦环形波面的拟合,当环形区域中分割遮拦较小时,Zernike环多项式具有较高的拟合精度、可靠性和抗扰动能力,可以达到很好的拟合效果。Wavefront fitting method for an annular interferogram with obscurations is presented. Zernike annular polynomials, which are orthogonal over a unit annular region, are used as the basic functions in the fitting process. The correlation matrix is used in the theoretical analysis of the orthogonality of annular polynomials over an annular region with different symmetrical obscurations. For annular interferogram (obscuration ratio ε≈0.504) with symmetrical obscurations obtained in our interferometric experimen...

关 键 词：光学测量 干涉图处理 波面拟合 Zernike环多项式 

分 类 号：TH74[机械工程—光学工程]