刘景峰

作品数：4被引量：34H指数：4
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供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
发文主题：相位展开波像差极紫外光刻波面拟合干涉图更多>>
发文领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《仪器仪表学报》《红外与激光工程》《光学技术》《光电工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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带有分割遮拦环形干涉图的波面拟合被引量：7
《红外与激光工程》2008年第S2期778-784,共7页刘克 李艳秋 刘景峰 
国家自然基金(10674134);教育部长江学者和创新研究团队计划(PCSIRT);国家973计划项目(2003CB716204)
针对干涉测量实验中采集到的带有分割遮拦的环形干涉图,采用Zernike环多项式作为基底函数系对波面数据进行拟合,并对拟合结果进行了理论分析和实验验证。首先,利用相关矩阵,在理论上分析了Zernike环多项式在带有分割遮拦的单位环形区域...
关键词：光学测量 干涉图处理 波面拟合 Zernike环多项式 
含噪声包裹相位图的加权最小二乘相位展开算法研究被引量：11
《光学技术》2008年第5期643-646,650,共5页刘景峰 李艳秋 刘克 
长江学者特聘教授奖励计划(PCSIRT);国家自然科学基金资助项目(10674134)
二维相位展开广泛应用在精密光学测量、自适应光学、合成孔径雷达、图像处理等领域中。为处理含噪声包裹相位图,以预条件共轭斜量法求解权重最小二乘相位展开方程。引入非加权二维离散余弦变换求解泊松方程得到的最小二乘相位解作为共...
关键词：相位展开 预条件共轭斜量法 泊松方程 最小二乘 离散余弦变换 
一种新的质量图导引路径积分相位展开算法被引量：12
《光电工程》2007年第12期104-107,128,共5页刘景峰 李艳秋 刘克 
863IC装备专项;973计划项目(2003CB716204)
本文首先简要介绍了路径积分相位展开方法的原理,针对路径积分法在处理轮廓不连续包裹相位图时存在的缺陷,提出了一种新的质量图用来导引相位展开。算法以包裹相位质量为依据,最先展开质量最高的像素,最后展开质量最低的像素,以防止相...
关键词：相位展开 路径积分法 质量图 包裹相位 
移相式点衍射干涉仪的几个关键技术被引量：11
《仪器仪表学报》2007年第S1期179-182,共4页刘景峰 李艳秋 刘克 
863IC装备专项;976计划(2003CB716204)资助项目
极紫外光刻技术作为下一代光刻技术的最佳候选技术,为了得到衍射极限的分辨率,光学系统的RMS波像差应小于其工作波长的1/14,约为1 nm,这对检测技术提出了前所未有的要求。本文以应用于极紫外光刻光学系统波像差检测中的移相式点衍射干...
关键词：极紫外光刻 波像差 移相式点衍射干涉仪 
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