衬底温度对ZnO纳米结构的影响  

Influence of substrate temperature on the performance of ZnO nanostructure

作　　者：张霞[1,2] 张晓丹[2] 边楠[1,2] 杨瑞霞[1] 赵颖[2] 

机构地区：[1]河北工业大学信息学院,天津300130 [2]南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室,天津300071

出　　处：《光电子．激光》2009年第2期200-203,共4页Journal of Optoelectronics·Laser

基　　金：国家高技术研究发展计划资助项目(2007AA05Z436);国家自然科学基金资助项目(60506003);国家重点基础研究发展规划资助项目(2006CB202602,2006CB202603);科技部国际合作重点资助项目(2006DFA62390);天津市自然科学基金资助项目(05YFJMTC01600);新世纪优秀人才计划资助项目;南开大学博士启动基金资助项目(J02031)

摘　　要：利用超声喷雾热解(USP)技术,以普通玻璃为衬底,制备了不同衬底温度下的系列ZnO薄膜。用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)研究了衬底温度对ZnO结构的影响。结果表明,薄膜的微观结构随衬底温度变化显著。在410℃获得了ZnO纳米棒,纳米棒直径在50 nm左右,沿c轴择优生长,结晶质量较好。ZnO thin films were grown on glass substrate by ultrasonic spray pyrolysis(USP) under different substrate temperatures.The surface morphology and structural properties of ZnO thin films were studied by scanning electron microscope(SEM) and X-ray diffraction(XRD),respectively.The results indicated that the microstructure of ZnO thin films has changed obviously with substrate temperature.We obtained ZnO nanorods at 410 ℃.These ZnO nanorods,in the diameters of ～50 nm,were grown along the c axis.The crystalliza...

关 键 词：超声喷雾热解(USP) ZNO纳米棒 衬底温度 

分 类 号：O484.1[理学—固体物理]