高温压力传感器的新进展——金刚石微压力传感器  

作　　者：莘海维[1] 张志明[1] 沈荷生[1] 戴永兵[1] 万永中[1] 

机构地区：[1]上海交通大学微电子所,上海200030

出　　处：《化学世界》2000年第S1期107-111,共5页Chemical World

基　　金：教育部薄膜与微细技术重点实验室的资助

摘　　要：工业上的某些场合要求压力传感器能够在高温、高辐射以及恶劣的环境下正常工作。金刚石的某些特殊性质 (如化学上的惰性、高的杨氏模量 )以及极大的压阻效应使其成为制作压阻型压力传感器的极佳材料。本文对利用多晶金刚石薄膜制造的新型高温、高灵敏度的压阻型金刚石微压力传感器 ,包括其原理、结构及其制造技术作了详细介绍。这种传感器适用于勘探、航空航天以及汽车工业。此外 ,还阐述了金刚石微压力传感器的研究现状 。

关 键 词：压阻效应 金刚石薄膜 灵敏度因子 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]