莘海维

作品数：12被引量：40H指数：3
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供职机构：上海交通大学微电子学院微电子技术研究所更多>>
发文主题：金刚石金刚石薄膜纳米金刚石薄膜ALN薄膜纳米金刚石更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺一般工业技术更多>>
发文期刊：《微细加工技术》《上海交通大学学报》《航空精密制造技术》《物理学报》更多>>
所获基金：山西省青年科技研究基金教育部重点实验室基金国家高技术研究发展计划上海市科学技术发展基金更多>>
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压阻式金刚石压力微传感器的制作与测试被引量：4
《微细加工技术》2003年第2期69-75,共7页凌行 莘海维 张志明 孙方宏 戴永兵 沈荷生 
国家863计划新材料领域纳米专项资助项目(2002AA302613);上海市科技发展基金纳米专项资助项目(0159nm033);上海交通大学教育部薄膜与微细技术重点实验室资助项目
由于金刚石薄膜具有优良的高温压阻特性,适合于制作高温压力传感器。在Φ50mm〈100〉硅单晶衬底上用热丝CVD法生长本征多晶金刚石薄膜作为绝缘隔离层,通过掩模选择性生长法得到掺硼金刚石薄膜电阻条,再经金属化处理和腐蚀硅压力腔,得到...
关键词：压阻式 金刚石薄膜 压力微传感器 热丝CVD法 掩模选择性生长法 制作方法 
热丝CVD法生长纳米金刚石薄膜的研究被引量：21
《微细加工技术》2003年第1期27-33,共7页张志明 莘海维 戴永兵 孙方宏 汪涛 沈荷生 
国家863计划新材料领域纳米专项资助项目(2002AA302613);上海市科技发展基金纳米专项资助项目(0159nm033);上海交通大学教育部薄膜与微细技术重点实验室资助项目
系统地研究了热丝CVD法中反应气体压力对沉积产物金刚石薄膜的形貌和拉曼谱图的影响,提出了热丝CVD生长纳米金刚石薄膜的新工艺,并在50mm硅片上沉积得到高质量的多晶纳米金刚石薄膜。高分辨透射电镜分析表明,薄膜的晶粒尺寸约为10nm,...
关键词：纳米金刚石 薄膜 热丝CVD 
复合金刚石薄膜的介电特性
《上海交通大学学报》2002年第5期694-697,共4页莘海维 凌行 奚正蕾 张志明 沈荷生 戴永兵 
教育部上海交通大学薄膜与微细技术重点实验室基金资助项目
利用热丝大面积金刚石薄膜气相合成 ( CVD)装置制备了复合金刚石薄膜 ,并对其表面和断面分别进行了扫描电镜 ( SEM)、原子力显微镜 ( AFM)和 Raman光谱表征 .研究了该复合结构的介电性能 ,利用共振电路测量了高频下薄膜的介质损耗与频...
关键词：金刚石薄膜 复合结构 介电特性 
压阻式金刚石压力传感器的优化设计被引量：1
《传感器技术》2002年第3期21-24,共4页莘海维 张志明 戴永斌 沈荷生 
教育部上海交通大学微细技术重点实验室基金资助
介绍了一种新型金刚石高温压力传感器的优化设计方法。采用薄板弯曲理论研究了均匀载荷作用下多晶金刚石方膜在小挠度和大挠度下的应变分布情况。对设计时应当考虑的主要问题包括金刚石力敏电阻条的掺杂浓度 ,电桥的形式 ,电阻条在膜片...
关键词：压阻式 金刚石 压力传感器 灵敏度 优化设计 
金刚石薄膜图形化技术的研究被引量：2
《航空精密制造技术》2002年第1期9-12,共4页莘海维 奚正蕾 凌行 张志明 
教育部上海交通大学微细技术重点实验室基金资助
从金刚石薄膜半导体器件的实用要求出发,比较了金刚石薄膜的各种图形化技术,研究了它们各自的特点和适用性,如播种法选择性生长、掩膜法选择性生长、离子束刻蚀和反应离子刻蚀技术等。
关键词：金刚石薄膜 图形化 选择性生长 刻蚀 
常规与纳米金刚石薄膜介电性能的比较被引量：1
《微细加工技术》2001年第4期50-55,共6页奚正蕾 莘海维 张志明 凌行 沈荷生 戴永兵 万永中 陆鸣 
教育部薄膜与微细技术重点实验室资助
用热丝CVD方法制备了常规和纳米金刚石薄膜。测量了其电阻率、介电常数和损耗角正切值。实验结果表明 ,常规金刚石薄膜的电导率、损耗角正切值均小于纳米金刚石薄膜 ,介电性能比较理想。两种薄膜的介电常数基本相同 ,损耗角正切值在1 0 ...
关键词：金刚石薄膜 纳米金刚石薄膜 介电性能 
压阻式金刚石微压力传感器被引量：2
《微细加工技术》2001年第1期67-73,共7页莘海维 张志明 沈荷生 戴永兵 万永中 
教育部薄膜与微细技术重点实验室资助
工业上的某些场合要求压力传感器能够在高温、高辐射以及恶劣的环境下正常工作。金刚石的某些特殊性质 (如化学上的惰性、高的杨氏模量 )以及极大的压阻效应使其成为制作压阻型压力传感器的极佳材料。对利用多晶金刚石薄膜制造的新型高...
关键词：压阻效应 金刚石膜薄 灵敏度因子 压力传感器 
电子浴辅助阴极电弧源法合成AlN薄膜机理初探被引量：1
《热加工工艺》2001年第1期5-6,共2页潘俊德 田林海 莘海维 贺琦 赵晋香 
山西省青年基金资助项目!项目编号 :981 0 2 6
研究了电子浴辅助阴极电弧源法合成 Al N薄膜的形核生长过程 。
关键词：阴极电弧源法 ALN薄膜 合成 电子浴 离子镀 
金刚石/硅(001)异质界面的分子动力学模拟研究被引量：4
《物理学报》2001年第2期244-250,共7页戴永兵 沈荷生 张志明 何贤昶 胡晓君 孙方宏 莘海维 
国家高技术研究发展计划! (批准号 :715 0 0 2 0 0 10 );中国博士后科学基金
采用分子动力学方法模拟研究了未重构的金刚石 /硅 (0 0 1)面相接触时界面层原子的弛豫过程及所形成的异质界面的结构特征 .硅碳二元系统中原子间的相互作用采用Tersoff多体经验势描述 .弛豫前沿 [110 ]与 [110 ]方向界面碳硅原子数之...
关键词：金刚石 硅 异质界面 分子动力学 薄膜 模拟 
高温压力传感器的新进展——金刚石微压力传感器被引量：1
《化学世界》2000年第S1期107-111,共5页莘海维 张志明 沈荷生 戴永兵 万永中 
教育部薄膜与微细技术重点实验室的资助
工业上的某些场合要求压力传感器能够在高温、高辐射以及恶劣的环境下正常工作。金刚石的某些特殊性质 (如化学上的惰性、高的杨氏模量 )以及极大的压阻效应使其成为制作压阻型压力传感器的极佳材料。本文对利用多晶金刚石薄膜制造的新...
关键词：压阻效应 金刚石薄膜 灵敏度因子 
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