贺琦

作品数：25被引量：65H指数：4
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供职机构：北京科技大学更多>>
发文主题：红外透过率ALN薄膜工艺参数金刚石薄膜Y更多>>
发文领域：一般工业技术金属学及工艺理学化学工程更多>>
发文期刊：《红外技术》《机械工程材料》《材料热处理学报》《金属热处理》更多>>
所获基金：山西省青年科技研究基金国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
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新型双层辉光等离子表面冶金高速钢及其锯切工具被引量：1
《热处理》2011年第2期1-8,共8页徐重 王从曾 唐宾 高原 贺志勇 刘小萍 徐在峰 王建明 贺琦 李成明 李忠厚 苏永安 潘俊德 
主要介绍了双层辉光等离子表面冶金技术在普通低碳钢或低合金钢表面形成的等离子表面冶金高速钢及其在手用锯条方面的应用和产业化。以技术、工艺、设备为主线,全面总结和阐述了等离子表面冶金高速钢锯条产业化的过程及艰难历程,对我国...
关键词：双辉等离子表面冶金 等离子表面冶金高速钢 等离子表面冶金切削工具 产业化 
退火对Y_2O_3薄膜结构和光学性能的影响被引量：2
《材料工程》2010年第2期47-51,共5页王耀华 陈广超 贺琦 李成明 吕反修 
采用脉冲式静电辅助的气溶胶化学气相沉积方法成功的在Si(100)衬底上制备了Y2O3薄膜,研究了退火对Y2O3沉积薄膜的形貌、结构和光学性质的影响。X射线衍射分析结果表明沉积得到的Y2O3薄膜在退火前为非晶态结构,退火之后薄膜具有立方结构...
关键词：ESAVD 氧化钇薄膜 折射系数 
静电辅助气溶胶化学气相沉积法制备Al_2O_3薄膜
《机械工程材料》2009年第11期65-67,75,共4页王耀华 贺琦 李成明 吕反修 
以乙酰丙酮铝为前驱体,N,N-二甲基甲酰胺为溶剂,采用静电辅助的气溶胶化学气相沉积(ESAVD)方法,在Si(100)衬底上制备了Al2O3薄膜,并采用场发射扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪和自动划痕仪等设备对制备的薄膜进行了表征。结果表明:采用ES...
关键词：静电辅助气溶胶化学气相沉积 氧化铝 薄膜 
静电辅助的气溶胶化学气相沉积法制备Y_2O_3薄膜被引量：2
《北京科技大学学报》2009年第8期1028-1032,共5页王耀华 吕反修 贺琦 李成明 唐伟忠 
采用静电辅助的气溶胶化学气相沉积的方法成功地在Si(100)衬底上制备了Y2O3薄膜,利用X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)、原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XRP)对薄膜进行了表征.SEM分析结果显示,薄膜的颗粒为纳米级的,并且...
关键词：静电辅助的气溶胶化学气相沉积 氧化钇 薄膜 粗糙度 
硼掺杂对钛基金刚石薄膜附着力的影响被引量：3
《材料热处理学报》2009年第6期140-143,共4页魏俊俊 贺琦 高旭辉 吕反修 
采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术在钛基片上沉积了掺硼金刚石薄膜,并对掺杂前后的薄膜形貌及结构进行了检测。结果表明掺杂元素对形貌和结构有很大的影响,同时掺杂后薄膜与基底附着力有所下降。掠角衍射(GIXD)检测表明,中间层...
关键词：金刚石薄膜 掠角衍射(GIXD) 掺硼 附着力 CVD 
PCD和CVD金刚石刀具切削性能对比及失效机理初探被引量：5
《金刚石与磨料磨具工程》2009年第1期49-52,57,共5页张岩 吕反修 贺琦 宋建华 刘政 
通过切削实验,观察切削前后刀具的表面和刃口形貌、金刚石刀片组成成分、以及被加工工件表面粗糙度,比较两种刀具的切削性能,探讨其失效机理。结果表明:在同等条件下,CVD金刚石刀具的切削性能要明显优于PCD刀具。在车削过程中,PCD刀具...
关键词：PCD刀具 CVD金刚石刀具 切削性能 失效机理 
MPCVD掺硼金刚石薄膜的制备及Ti/BDD电极上对硝基酚的阳极氧化测试(英文)被引量：6
《人工晶体学报》2009年第2期422-425,共4页魏俊俊 贺琦 高旭辉 吕反修 陈广超 朱秀萍 倪晋仁 
采用微波等离子体技术在CH4-H2-C2H6气体条件下制备了钛基掺硼金刚石薄膜。四点探针法测得薄膜电阻率在零掺杂时为1×1012Ω·cm,当反应气源中B/C上升为5×10-3时电阻率降至5×10-3Ω·cm。扫描电镜显示掺硼金刚石具有完整晶型和致密结...
关键词：Ti/BDD电极 微波等离子体 化学气相沉积 对-硝基酚 阳极氧化 
反应磁控溅射法制备HfO_2金刚石红外增透膜被引量：4
《人工晶体学报》2008年第6期1355-1360,共6页郭会斌 王凤英 贺琦 魏俊俊 王耀华 吕反修 
国家自然科学基金(No.50572007);教育部博士点基金(No.20040008018)
采用纯铪(Hf)金属靶,在氧+氩反应气氛中进行了HfO2薄膜直流反应磁控溅射沉积。首先在单晶硅片上沉积薄膜,研究工艺参数改变对薄膜的影响,然后选择较优的工艺在金刚石表面沉积符合光学厚度的薄膜,达到增透减反射效果。利用X射线光电子能...
关键词：HFO2薄膜 反应磁控溅射法 红外透过率 增透 
反应磁控溅射法制备Y_2O_3金刚石红外减反膜被引量：3
《金刚石与磨料磨具工程》2008年第3期10-14,18,共6页郭会斌 魏俊俊 王耀华 贺琦 吕反修 唐伟忠 
国家自然科学基金(项目编号:50572007);教育部博士点基金(项目编号:20040008018)资助项目
采用纯钇（Y）金属靶,在氧＋氩反应气氛中进行了Y2O3薄膜直流反应磁控溅射沉积。研究了工艺参数改变对薄膜的影响,选择较优的工艺在金刚石表面沉积符合光学厚度的薄膜,达到增透减反射效果。利用X射线光电子能谱（XPS）和扫描电子显微镜...
关键词：Y2O3薄膜 反应磁控溅射法 红外透过率 减反射 
HfO2薄膜反应磁控溅射沉积工艺的研究被引量：3
《人工晶体学报》2008年第1期70-75,共6页贺琦 王宏斌 张树玉 吕反修 杨海 苏小平 
国家自然科学基金(No.50572007);教育部高等学校博士学科点专项科研基金(No.20040008018)项目
采用纯铪(Hf)金属靶,在氧和氩反应气氛中进行了HfO2薄膜反应磁控溅射沉积,研究了电源功率、O2/Ar比例和工作气压对薄膜组成及薄膜沉积过程的影响。对制备的HfO2薄膜进行了退火处理,利用X射线衍射仪(GIXRD)、红外波谱仪(FT-IR)和场发射...
关键词：HFO2薄膜 反应磁控溅射沉积 红外透过率 
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