王耀华

作品数：8被引量：15H指数：3
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供职机构：北京科技大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：Y晶体结构红外透过率金刚石化学气相沉积更多>>
发文领域：一般工业技术理学金属学及工艺电子电信更多>>
发文期刊：《材料热处理学报》《机械工程材料》《金刚石与磨料磨具工程》《功能材料》更多>>
所获基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
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退火对Y_2O_3薄膜结构和光学性能的影响被引量：2
《材料工程》2010年第2期47-51,共5页王耀华 陈广超 贺琦 李成明 吕反修 
采用脉冲式静电辅助的气溶胶化学气相沉积方法成功的在Si(100)衬底上制备了Y2O3薄膜,研究了退火对Y2O3沉积薄膜的形貌、结构和光学性质的影响。X射线衍射分析结果表明沉积得到的Y2O3薄膜在退火前为非晶态结构,退火之后薄膜具有立方结构...
关键词：ESAVD 氧化钇薄膜 折射系数 
静电辅助气溶胶化学气相沉积法制备Al_2O_3薄膜
《机械工程材料》2009年第11期65-67,75,共4页王耀华 贺琦 李成明 吕反修 
以乙酰丙酮铝为前驱体,N,N-二甲基甲酰胺为溶剂,采用静电辅助的气溶胶化学气相沉积(ESAVD)方法,在Si(100)衬底上制备了Al2O3薄膜,并采用场发射扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪和自动划痕仪等设备对制备的薄膜进行了表征。结果表明:采用ES...
关键词：静电辅助气溶胶化学气相沉积 氧化铝 薄膜 
静电辅助的气溶胶化学气相沉积法制备Y_2O_3薄膜被引量：2
《北京科技大学学报》2009年第8期1028-1032,共5页王耀华 吕反修 贺琦 李成明 唐伟忠 
采用静电辅助的气溶胶化学气相沉积的方法成功地在Si(100)衬底上制备了Y2O3薄膜,利用X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)、原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XRP)对薄膜进行了表征.SEM分析结果显示,薄膜的颗粒为纳米级的,并且...
关键词：静电辅助的气溶胶化学气相沉积 氧化钇 薄膜 粗糙度 
光学级金刚石自支撑膜及其镀制Y_2O_3增透膜后的高温抗氧化性被引量：4
《材料热处理学报》2009年第3期1-5,共5页郭会斌 吕反修 李成明 黑立富 王耀华 
国家自然科学基金(50572007);教育部博士点基金(20040008018)
为了提高金刚石膜的红外透过率和高温抗氧化性能,采用纯钇(Y)金属靶,使用直流反应磁控溅射法在光学级金刚石自支撑膜表面制备了Y2O3薄膜。对比研究了光学级金刚石自支撑膜和Y2O3/Diamond/Y2O3复合窗口的高温抗氧化性能,及氧化前后样品...
关键词：化学气相沉积(CVD) 金刚石自支撑膜 Y2O3薄膜 抗氧化性能 
反应磁控溅射法制备HfO_2金刚石红外增透膜被引量：4
《人工晶体学报》2008年第6期1355-1360,共6页郭会斌 王凤英 贺琦 魏俊俊 王耀华 吕反修 
国家自然科学基金(No.50572007);教育部博士点基金(No.20040008018)
采用纯铪(Hf)金属靶,在氧+氩反应气氛中进行了HfO2薄膜直流反应磁控溅射沉积。首先在单晶硅片上沉积薄膜,研究工艺参数改变对薄膜的影响,然后选择较优的工艺在金刚石表面沉积符合光学厚度的薄膜,达到增透减反射效果。利用X射线光电子能...
关键词：HFO2薄膜 反应磁控溅射法 红外透过率 增透 
反应磁控溅射法制备Y_2O_3金刚石红外减反膜被引量：3
《金刚石与磨料磨具工程》2008年第3期10-14,18,共6页郭会斌 魏俊俊 王耀华 贺琦 吕反修 唐伟忠 
国家自然科学基金(项目编号:50572007);教育部博士点基金(项目编号:20040008018)资助项目
采用纯钇（Y）金属靶,在氧＋氩反应气氛中进行了Y2O3薄膜直流反应磁控溅射沉积。研究了工艺参数改变对薄膜的影响,选择较优的工艺在金刚石表面沉积符合光学厚度的薄膜,达到增透减反射效果。利用X射线光电子能谱（XPS）和扫描电子显微镜...
关键词：Y2O3薄膜 反应磁控溅射法 红外透过率 减反射 
DC Arc Plasma Jet CVD金刚石自支撑膜的质量对物理性能的影响被引量：2
《功能材料》2007年第A10期3802-3805,共4页郭世斌 王耀华 陈飞 吕反修 唐伟忠 佟玉梅 
国家自然科学基金资助项目（50572007）;博士点基金资助项目（20040008018）
本研究对Raman谱进行高斯（Gauss）和洛仑兹（Lorenz）分峰拟合，将金刚石自支撑膜Raman谱分成纯金刚石峰和非金刚石峰，对比两种方法的精度，结果显示高斯拟合的精度高些。运用经验公式计算出金刚石自支撑膜的质量因子，发现质量因子...
关键词：金刚石自支撑膜 热学性能 力学性能 光学性能 
大面积高质量金刚石自支撑膜热导率的影响因素研究被引量：2
《功能材料》2006年第12期1935-1937,共3页郭世斌 吕反修 王耀华 牛得草 唐伟忠 佟玉梅 
国家自然科学基金资助项目(50572007);博士点基金资助项目(20040008018)
通过Raman、XRD、SEM分析方法分别对大面积高质量金刚石自支撑膜的质量、晶体结构、晶粒尺寸进行研究,分析它们对金刚石自支撑膜热导率的影响。研究结果表明,金刚石自支撑膜的质量对热导率的影响较大,质量越好,热导率越接近于天然金刚...
关键词：金刚石自支撑膜 热导率 晶体结构 晶粒尺寸 
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