牛得草

作品数:3被引量:4H指数:2
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供职机构:北京科技大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题:晶体结构金刚石膜过渡层晶粒尺寸更多>>
发文领域:理学一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊:《功能材料》《人工晶体学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
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用有限元模拟的方法研究大面积自支撑金刚石膜沉积过程中的热应力被引量:2
《人工晶体学报》2008年第2期345-349,355,共6页刘政 李成明 牛得草 唐伟忠 陈广超 宋建华 佟玉梅 吕反修 
国家自然科学基金资助项目(No.50471090)
建立了没有过渡层和有过渡层的有限元模型,对大面积自支撑金刚石膜沉积过程中的热应力进行了研究。分别计算了在常用金属材料钼、钨、镍作衬底和用镀有钛过渡层的钼作衬底的情况下,膜/衬底间的热应力分布情况。模拟与实验的结果表明,在...
关键词:有限元 热应力 钛过渡层 自支撑金刚石膜 
气体循环条件下等离子体喷射CVD金刚石膜的生长稳定性和品质被引量:1
《北京科技大学学报》2007年第11期1133-1137,共5页牛得草 李成明 刘政 郭世斌 吕反修 
国家自然科学基金资助项目(No50471090);教育部博士点基金资助项目(No20040008078)
在气体循环条件下采用H2、CH4和Ar的混合气体,利用100kW直流电弧等离子喷射CVD系统,在850和950℃下在Mo衬底上沉积了不同厚度的金刚石膜;并利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和Raman光谱对膜的形貌、品质、取向和残余应力进行了分析....
关键词:CVD金刚石膜 气体循环 直流电弧等离子喷射 生长稳定性 残余应力 
大面积高质量金刚石自支撑膜热导率的影响因素研究被引量:2
《功能材料》2006年第12期1935-1937,共3页郭世斌 吕反修 王耀华 牛得草 唐伟忠 佟玉梅 
国家自然科学基金资助项目(50572007);博士点基金资助项目(20040008018)
通过Raman、XRD、SEM分析方法分别对大面积高质量金刚石自支撑膜的质量、晶体结构、晶粒尺寸进行研究,分析它们对金刚石自支撑膜热导率的影响。研究结果表明,金刚石自支撑膜的质量对热导率的影响较大,质量越好,热导率越接近于天然金刚...
关键词:金刚石自支撑膜 热导率 晶体结构 晶粒尺寸 
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