压力微传感器

作品数：13被引量：30H指数：4
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相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术更多>>
相关作者：周浩敏邢维巍李明明樊尚春李海娟更多>>
相关机构：北京航空航天大学厦门大学浙江科技学院上海交通大学更多>>
相关期刊：《北京航空航天大学学报》《传感技术学报》《仪表技术》《微细加工技术》更多>>
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差分谐振式压力微传感器灵敏度匹配特性（英文）
《强激光与粒子束》2016年第6期159-164,共6页邢永豪 谢波 陈健 陈德勇 王军波 
supported by National Natural Science Foundation of China(61431019,61372054);National Basic Research Program of China(2014CB744600);Beijing Municipal Science and Technology Commission(D11110100160000)
谐振式压力微传感器因其高精度、高稳定性及准数字输出等特性而广泛应用于气压监测、航空航天等领域。相较于其他结构,差分谐振式具有灵敏度高、线性度好及温度漂移小等优势。然而,要获得差分谐振式压力微传感器的最优性能,仍需解决差...
关键词：微机电系统 谐振式压力传感器 差分频率 灵敏度匹配 双谐振器 有限元分析 
基于FPGA的硅谐振压力微传感器数字闭环系统设计被引量：5
《现代电子技术》2008年第13期150-153,共4页何孟珂 周浩敏 郝欣 
航空基金资助(04I51065)
在微小型特别是硅谐振微传感器中,低信噪比的微弱信号检测,电路的小型化和抗干扰等问题十分突出。介绍了硅谐振压力微传感器闭环系统的基本工作原理,在成功研制出模拟闭环系统的基础上,为了克服模拟系统的不足,依据相关检测原理和频率...
关键词：硅谐振微传感器 频率扫描 数字信号处理 FPGA 
微机电系统磁流体压力微传感器被引量：1
《机电工程》2007年第4期75-77,共3页徐军民 王瑞金 杨娅君 
由于磁流体具有磁性，如果在磁场作用下力的平衡发生变化，会因磁流体的流动而产生压力。将这种现象用到微系统中，可以获得1～1000mbar数量级的压力值。在试验装置中，用压阻式压力传感器得到了40mbar的压力。试验结果表明，磁流体和...
关键词：微机电系统 磁流体 微致动器 磁压 微压力传感器 
硅谐振式压力微传感器闭环系统被引量：9
《北京航空航天大学学报》2005年第3期331-335,共5页李海娟 周浩敏 
航天科学基金资助项目 (0 3B5 1 0 49)
硅谐振压力微传感器在自激振荡回路中采取电阻热激励、电阻拾振时得到的信号 ,由于有用信号本身的量级小 ,因而含有严重的同频干扰信号 (耦合激励信号 ) ,信噪比SNR (SignalNoiseRatio)仅为 1 0 - 3数量级 .为了提高信噪比 ,滤除同频干...
关键词：同频干扰 锁相环 谐振 信号 分频 信噪比 PLL 压力微传感器 闭环系统 热激励 
基于电容器的压力微传感器的研制被引量：3
《传感技术学报》2004年第2期329-330,341,共3页邓永和 王冬青 曾庆丰 
介绍了利用微加工技术制造的电容式压力微传感器的结构设计 ,主要分析了其工作原理 ,论证了测量电路的可行性。最后提供了实验数据并和理论值进行了比较 ,讨论了产生误差的原因。
关键词：电容 压力微传感器 测量电路 实验 
压阻式金刚石压力微传感器的制作与测试被引量：4
《微细加工技术》2003年第2期69-75,共7页凌行 莘海维 张志明 孙方宏 戴永兵 沈荷生 
国家863计划新材料领域纳米专项资助项目(2002AA302613);上海市科技发展基金纳米专项资助项目(0159nm033);上海交通大学教育部薄膜与微细技术重点实验室资助项目
由于金刚石薄膜具有优良的高温压阻特性,适合于制作高温压力传感器。在Φ50mm〈100〉硅单晶衬底上用热丝CVD法生长本征多晶金刚石薄膜作为绝缘隔离层,通过掩模选择性生长法得到掺硼金刚石薄膜电阻条,再经金属化处理和腐蚀硅压力腔,得到...
关键词：压阻式 金刚石薄膜 压力微传感器 热丝CVD法 掩模选择性生长法 制作方法 
非接触式压力微传感器的设计
《仪表技术与传感器》2001年第12期4-6,共3页褚丹雷 
就如何利用MEMS技术 ,实现压力微传感器的设计进行详细论述。该传感器利用特殊的机械结构 ,大大改善了传统接触式压力传感器 ,工作区域狭小 ,线性度较差等问题 ,使压力传感器在高载荷条件下 ,由小扰度向大扰度过渡时 ,不产生非线性跳变 ...
关键词：压力微传感器 MEMS 扰度 硅梁 设计 
一种新型的压力微传感器
《仪表技术》2001年第6期50-52,共3页李琦 周浩敏 
介绍一种新型的压力传感器 ,即静电激励电容拾振的硅谐振压力微传感器。该传感器在可靠性、测量精度、体积、重量等方面都有传统的传感器所不能比拟的优点。实验结果表明 ,其测量精度可以达到 0 .0 2 1%F .S。
关键词：硅谐振 压力传感器 结构 工作原理 性能 
MOS场效应管压力微传感器
《传感器技术》2001年第5期19-21,共3页颜黄苹 冯勇建 许金海 卞剑涛 
阐述了一种MOS场效应管 (MOSFET)压力微传感器的结构和基本工作原理。通过对该传感器的仿真实验 ,证明了MOSFET压力微传感器可通过简单的电压———电流转换原理 ,利用栅极电容的变化导致漏极电流与开启电压的变化而有效地测出作用于栅...
关键词：微传感器 MOS场效应管 压力测量 
自动测试及其系统
《电子科技文摘》1999年第9期111-112,共2页
9913997硅谐振压力微传感器开环自动测试技术[刊]/周浩敏//测控技术.—1999,18(3).—12～14(V)9913998USON4000测试系统常见故障的分析与处理[刊]/卢碧红//自动化与仪表.—1999,14(2).—63～66(V)
关键词：自动测试系统 分析与处理 压力微传感器 自动测试技术 测控技术 常见故障 自动化 仪器仪表 自动检测系统 智能仪表 
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