硅谐振

作品数：15被引量：19H指数：3
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高精度硅谐振压力变送器研究
《自动化仪表》2025年第2期107-110,116,共5页刘维嵩 赵钦君 
为了将硅谐振压力传感器的频率信号数字化、将压力信号转变为标准的模拟信号,针对高精度硅谐振压力传感器设计了一种将谐振频率信号数字化的硅谐振压力变送器。该变送器在硬件上选用数模转换器(DAC)芯片AD5420、集成电路(IC)调制解调芯...
关键词：硅谐振压力传感器 电路设计 频率信号 模拟信号 中间阈值 压力变送器 高精度转换 
一种硅谐振压力传感器敏感芯体的特性测试被引量：1
《测控技术》2022年第9期84-89,共6页王宏音 姚敏强 李拉兔 
国家重点研发计划(2018YFF01010400)。
针对某型硅谐振压力传感器的压力敏感芯体,主要测试了该压力敏感芯体的幅频特性、相频特性、对气压的响应、对直流偏置电压的响应等关键特性,从而结合自激振荡理论,指导该传感器的驱动电路的设计与改进。该压力敏感芯体激励与输出信号...
关键词：硅谐振 压力传感器 自激振荡 幅频特性 相频特性 
半桥型LLC全碳化硅谐振充电机应用研究被引量：3
《电力电子技术》2020年第10期64-67,共4页张安 孙传铭 张宝强 王志辉 
基于碳化硅(SiC)半导体器件的高频特性,详细研究了LLC变换器的原理和特性。首先分析了LLC变换器的主电路结构以及发生谐振的条件,之后详细分析了LLC变换器发生谐振时,开关管的电压电流波形以及输入阻抗,通过对输入阻抗进行分析得到了LL...
关键词：变换器 半导体器件 充电机 谐振 
压电传导单晶硅MEMS谐振器设计
《大众科技》2015年第9期88-90,共3页李立圆 
压电传导单晶硅MEMS谐振器是压电谐振器的一种,与传统的声表面波谐振和薄膜体声波谐振的不同在于使用体硅作为能量传导介质。单晶硅比石英晶体具有更高的能量密度,因此谐振器具有更好的线性度和更高的Q值。文章从基本谐振器设计原理为...
关键词：MEMS谐振器 压电传导 单晶硅谐振 谐振器设计 
高性能单晶硅谐振压力传感器
《技术与市场》2009年第3期77-77,共1页
高性能单晶硅谐振压力传感器，采用电磁激励和电磁拾振方式工作，输出为频率信号，抗干扰能力强，稳定性好，不需A／D转换，既能测量绝压，也能测量差压，精度0．1％，其量程可根据具体应用需求通过调整制作工艺参数实现。
关键词：压力传感器 硅谐振 单晶 性能 电磁激励 抗干扰能力 A/D转换 频率信号 
基于FPGA的硅谐振压力微传感器数字闭环系统设计被引量：5
《现代电子技术》2008年第13期150-153,共4页何孟珂 周浩敏 郝欣 
航空基金资助(04I51065)
在微小型特别是硅谐振微传感器中,低信噪比的微弱信号检测,电路的小型化和抗干扰等问题十分突出。介绍了硅谐振压力微传感器闭环系统的基本工作原理,在成功研制出模拟闭环系统的基础上,为了克服模拟系统的不足,依据相关检测原理和频率...
关键词：硅谐振微传感器 频率扫描 数字信号处理 FPGA 
硅谐振微传感器中微弱信号频率的外差式随机共振检测被引量：1
《传感技术学报》2006年第05A期1542-1544,共3页黄咏梅 林敏 
浙江省自然科学基金资助项目(Y104338)
硅谐振微传感器输出信号的信噪比很低,频率信号往往淹没在噪声之中.论文分析了随机共振系统的功率谱放大率和信噪比特性,提出了外差式随机共振频率检测方法,并将该方法应用于硅谐振微传感器输出信号的频率检测.理论分析和数值仿真结果表...
关键词：MEMS 硅谐振微传感器 微弱信号 外差式 随机共振 
电磁激励的硅谐振梁设计和有限元分析
《传感技术学报》2006年第05B期1835-1839,共5页潘军 黄庆安 秦明 
国家自然科学基金资助(60476019)
介绍了电磁激励硅谐振梁的激励和检测原理,给出了双端固支的硅谐振梁谐振频率公式,并利用该公式分析了双端固支梁的谐振频率和梁尺寸的关系.本文利用有限元软件模态分析计算了三种不同的谐振频率情况,并逐一加以比较分析.本文还利用有...
关键词：谐振频率 电磁激励 双端固支梁 有限元 
电热激励硅谐振器件的研究被引量：2
《半导体光电》2005年第2期105-107,共3页李炳乾 
设计了悬臂梁结构电热激励、压阻拾取硅微机械谐振器件,分析了电热激励和压阻拾取的基本工作原理,设计了与Bipolar工艺兼容的器件制作工艺流程,并制作了器件样品。对真空中器件的幅频特性进行了实验研究,研究结果表明,在粗真空范围内,...
关键词：电热激励 微悬臂梁 谐振器件 
硅谐振微传感器中微现象测量技术被引量：1
《强度与环境》2002年第1期59-64,共6页周浩敏 胡芳 兰巍 邢维巍 
航空基础科学基金 (98I5 10 19)资助项目
主要论述硅谐振微传感器中微现象测量。讨论了微现象测量中有关的技术 :激励功率控制 ,超声频谐振频率的测量 ,频率特性的测定 ,品质因数的确定 ,克服电热效应的不良影响 ,同频干扰的抑制等。
关键词：信息处理 微现象测量 谐振微传感器 品质因素 功率控制 
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