硅谐振微传感器

作品数：3被引量：7H指数：1
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相关领域：自动化与计算机技术更多>>
相关作者：周浩敏邢维巍黄咏梅林敏郝欣更多>>
相关机构：北京航空航天大学中国计量学院更多>>
相关期刊：《传感技术学报》《强度与环境》《现代电子技术》更多>>
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基于FPGA的硅谐振压力微传感器数字闭环系统设计被引量：5
《现代电子技术》2008年第13期150-153,共4页何孟珂 周浩敏 郝欣 
航空基金资助(04I51065)
在微小型特别是硅谐振微传感器中,低信噪比的微弱信号检测,电路的小型化和抗干扰等问题十分突出。介绍了硅谐振压力微传感器闭环系统的基本工作原理,在成功研制出模拟闭环系统的基础上,为了克服模拟系统的不足,依据相关检测原理和频率...
关键词：硅谐振微传感器 频率扫描 数字信号处理 FPGA 
硅谐振微传感器中微弱信号频率的外差式随机共振检测被引量：1
《传感技术学报》2006年第05A期1542-1544,共3页黄咏梅 林敏 
浙江省自然科学基金资助项目(Y104338)
硅谐振微传感器输出信号的信噪比很低,频率信号往往淹没在噪声之中.论文分析了随机共振系统的功率谱放大率和信噪比特性,提出了外差式随机共振频率检测方法,并将该方法应用于硅谐振微传感器输出信号的频率检测.理论分析和数值仿真结果表...
关键词：MEMS 硅谐振微传感器 微弱信号 外差式 随机共振 
硅谐振微传感器中微现象测量技术被引量：1
《强度与环境》2002年第1期59-64,共6页周浩敏 胡芳 兰巍 邢维巍 
航空基础科学基金 (98I5 10 19)资助项目
主要论述硅谐振微传感器中微现象测量。讨论了微现象测量中有关的技术 :激励功率控制 ,超声频谐振频率的测量 ,频率特性的测定 ,品质因数的确定 ,克服电热效应的不良影响 ,同频干扰的抑制等。
关键词：信息处理 微现象测量 谐振微传感器 品质因素 功率控制 
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