高性能单晶硅谐振压力传感器  

出　　处：《技术与市场》2009年第3期77-77,共1页Technology and Market

摘　　要：高性能单晶硅谐振压力传感器，采用电磁激励和电磁拾振方式工作，输出为频率信号，抗干扰能力强，稳定性好，不需A／D转换，既能测量绝压，也能测量差压，精度0．1％，其量程可根据具体应用需求通过调整制作工艺参数实现。

关 键 词：压力传感器 硅谐振 单晶 性能 电磁激励 抗干扰能力 A/D转换 频率信号 

分 类 号：TP212.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]