卞剑涛

作品数:10被引量:18H指数:2
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发文主题:硅基光电探测器硅片表面硅衬底光电集成电路更多>>
发文领域:电子电信自动化与计算机技术电气工程理学更多>>
发文期刊:《微电子学》《半导体光电》《中国集成电路》《光子学报》更多>>
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标准CMOS工艺下单片集成光接收芯片的研究
《半导体光电》2009年第1期34-37,42,共5页陈伟 程翔 卞剑涛 陈朝 芦晶 
厦门市科技计划项目(3502Z20063002)
设计了与标准CMOS工艺兼容的850 nm空间调制(Spatially Modulated,SM)结构光电探测器,在分析器件物理模型的基础上,建立了SPECTRE环境中等效电路的新模型。提出标准CMOS工艺下SM探测器与前置放大电路单片集成的电路设计。仿真结果表明,...
关键词:光电集成 CMOS 空间调制结构 SPICE模型 前置放大器 
基于Laplace变换法的光电探测器频率响应研究被引量:5
《光子学报》2007年第10期1804-1807,共4页卞剑涛 程翔 陈朝 
科技部中国-白俄罗斯科技合作项目(CB7-2-10);福建省重大专项前期研究项目(2005HZ1017)资助
从光电探测器的基本方程出发,采用Laplace变换方法,分析了一种与CMOS标准工艺兼容的N-well/P-sub结构光电探测器的频率响应特性,780nm和650nm波长下的截止频率分别为14.4MHz和43MHz.该分析方法克服了频率特性测量中存在负载影响和采用...
关键词:光电子学 光电探测器 LAPLACE变换 频率响应 CMOS工艺 
标准CMOS工艺下Si光电探测器的模拟与设计被引量:1
《半导体光电》2006年第2期128-132,共5页卞剑涛 陈朝 
设计了与标准CMOS工艺兼容的硅双光电探测器,并从理论上计算和分析了其绝对光谱响应。0.5pmCMOS工艺条件数值模拟结果显示,在无抗反射膜情况下该探测器在400~900nm波长范围内响应度都在0.2A/W以上,尤其是在短波长处效果比一般的...
关键词:CMOS 光电探测器  
一种平板式MEMSRF射频开关的设计
《传感器技术》2004年第10期87-88,共2页张睿 卞剑涛 冯勇建 
介绍了一种实用的平板电容式MEMSRF射频开关。研究了外加驱动电压与由此所引起的极板间距和极板受力变化之间的非线性关系,提出了一种有效的基于有限元的设计分析方法,在此基础上设计了相应的MEMS加工工艺流程,并给出了具体的MEMS工艺。
关键词:MEMSRF射频开关 驱动电压 平板式 电容式 非线性关系 极板间距 受力 微机电系统 静电驱动 
DVD/VCD光学头硅基单片集成光电探测电路的进展
《中国集成电路》2004年第8期41-45,共5页卞剑涛 陈朝 
本文介绍了用于DVD/VCD光学读取头的光电探测集成电路(PDIC)的结构和工作原理,分析并比较了硅基PDIC的关键技术和工艺,回顾总结了近年来的研究进展与成果,展望了今后的研究发展趋势。
关键词:单片集成 硅基 光电探测 DVD VCD 光学头 集成电路 读取 关键技术 工作原理 
一种基于MEMS技术的微变电容被引量:2
《微电子学》2003年第5期453-455,共3页卞剑涛 程未 冯勇建 颜黄苹 
 通过对接触式电容压力传感器的改进,提出了一种基于MEMS技术的微变电容模型。为确定外加驱动电压与由此所引起的电容变化之间的非线性关系,提出了一种有效的基于有限元的方法,并设计了相应的加工工艺流程,说明了其工艺的可实现性。
关键词:MEMS 微变电容 电容压力传感器 有限元分析 工艺流程 工作原理 
基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的设计被引量:7
《传感器技术》2003年第8期75-77,共3页程未 曾晓鹭 卞剑涛 冯勇建 
给出了一种基于MEMS技术制作的微电容式加速度传感器的结构及工艺。为了准确地把握这种微电容式加速度传感器的力学和电学特性,仔细地建立了它的力学模型。在此基础上,详细分析了它的动态特性———模态。并用有限元的方法分析和计算了...
关键词:微机电系统 有限元分析 加工工艺 MEMS技术 微电容式加速度传感器 
基于MEMS技术的氧气微传感器机理研究与设计被引量:2
《仪表技术与传感器》2003年第8期6-8,共3页颜黄苹 冯勇建 陈曦 卞剑涛 
采用溶胶-凝胶(Sol gel)法制备氧敏感膜,并对其不同的药品配比进行成膜质量与响应时间的测试与比较。设计一系列实验对该传感器的氧敏感机理进行研究。结合MEMS技术,设计MOSFET氧气微传感器结构,在器件中集成了加热元件和测温元件。实...
关键词:氧敏感膜 微传感器 MEMS 溶胶-凝胶法 设计 氧气传感器 MOSFET 
ANSYS在接触式电容压力传感器非线性分析中的应用被引量:1
《仪表技术与传感器》2002年第3期3-6,共4页卞剑涛 颜黄苹 冯勇建 王亚强 
通过对接触式电容传感器结构原理的分析 ,运用ANSYS对传感器膜片在外加压力作用下的接触和大变形等非线性问题进行分析 ,并基于有限元法编写相应的程序 ,直接得出输出电容与外加压力之间的关系。比较实验结果 ,验证了ANSYS对接触式电容...
关键词:有限元法 微传感器 ANSYS 接触式电容压力传感器 非线性分析 
MOS场效应管压力微传感器
《传感器技术》2001年第5期19-21,共3页颜黄苹 冯勇建 许金海 卞剑涛 
阐述了一种MOS场效应管 (MOSFET)压力微传感器的结构和基本工作原理。通过对该传感器的仿真实验 ,证明了MOSFET压力微传感器可通过简单的电压———电流转换原理 ,利用栅极电容的变化导致漏极电流与开启电压的变化而有效地测出作用于栅...
关键词:微传感器 MOS场效应管 压力测量 
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