张睿

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供职机构：厦门大学物理与机电工程学院机电工程系更多>>
发文主题：静电驱动微机电系统驱动电压电容式平板式更多>>
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一种平板式MEMSRF射频开关的设计
《传感器技术》2004年第10期87-88,共2页张睿 卞剑涛 冯勇建 
介绍了一种实用的平板电容式MEMSRF射频开关。研究了外加驱动电压与由此所引起的极板间距和极板受力变化之间的非线性关系,提出了一种有效的基于有限元的设计分析方法,在此基础上设计了相应的MEMS加工工艺流程,并给出了具体的MEMS工艺。
关键词：MEMSRF射频开关 驱动电压 平板式 电容式 非线性关系 极板间距 受力 微机电系统 静电驱动 
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