凌行

作品数：9被引量：15H指数：2
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供职机构：上海交通大学更多>>
发文主题：金刚石薄膜介电性能纳米金刚石薄膜高灵敏度可变电容更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程一般工业技术更多>>
发文期刊：《航空精密制造技术》《微细加工技术》《上海交通大学学报》《固体电子学研究与进展》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划教育部重点实验室基金上海市科学技术发展基金更多>>
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无阀微泵压电特性分析及性能测试被引量：5
《上海交通大学学报》2013年第7期1049-1054,共6页关炎芳 耿铁 韩莉莉 刘春波 凌行 
国家自然科学基金资助项目(11002050);河南省教育厅科学技术研究重点项目(13A460159)
提出了一种用于微量试剂分析的压电驱动微泵模型.该微泵模型采用压电阵子驱动、硅基泵体以及聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane,PDMS)封装而成.对压电阵子振动模态进行有限元分析,得出1～4阶模态及驱动频率,使微泵容积效率为最大的应...
关键词：微泵 压电 模态 流量 压力 
金刚石薄膜自支撑窗口试样的制备与实验研究
《上海交通大学学报》2004年第6期897-900,共4页简小刚 孙方宏 陈明 张志明 沈荷生 凌行 
国家自然科学基金项目(50005013;50275095);国家高技术研究发展计划(863)项目(2002AA302613)
以氢气和丙酮为原料,采用电子增强热丝CVD法,在硅片(100)基底上涂覆一层金刚石薄膜,在传统的硅平面加工工艺的基础上发展了一种新的在沉积好的基片上制备自支撑窗口试样的方法,并采用光刻法和湿式各向异性刻蚀技术制备得到金刚石薄膜自...
关键词：金刚石薄膜 自支撑窗口 制备 
GaAs微条粒子探测器的设计被引量：2
《固体电子学研究与进展》2004年第1期60-63,共4页邵传芬 史常忻 凌行 温伯莹 
上海市自然科学基金项目 (编号 :99ZD14 0 0 5 )
介绍了最新研制成功的 Ga As微条粒子探测器的芯片设计和工艺设计。每一微条长度均为 1 70 0 0μm,宽度分别为 2 0、5 0、1 0 0、2 0 0和 3 0 0 μm。微条间距有 5 0、1 0 0、2 0 0和 3 0 0 μm四种 ,芯片面积为 5 .95 mm×1 7.0 0 mm...
关键词：GAAS 微条粒子 探测器 反向电击穿 二极管 
压阻式金刚石压力微传感器的制作与测试被引量：4
《微细加工技术》2003年第2期69-75,共7页凌行 莘海维 张志明 孙方宏 戴永兵 沈荷生 
国家863计划新材料领域纳米专项资助项目(2002AA302613);上海市科技发展基金纳米专项资助项目(0159nm033);上海交通大学教育部薄膜与微细技术重点实验室资助项目
由于金刚石薄膜具有优良的高温压阻特性,适合于制作高温压力传感器。在Φ50mm〈100〉硅单晶衬底上用热丝CVD法生长本征多晶金刚石薄膜作为绝缘隔离层,通过掩模选择性生长法得到掺硼金刚石薄膜电阻条,再经金属化处理和腐蚀硅压力腔,得到...
关键词：压阻式 金刚石薄膜 压力微传感器 热丝CVD法 掩模选择性生长法 制作方法 
复合金刚石薄膜的介电特性
《上海交通大学学报》2002年第5期694-697,共4页莘海维 凌行 奚正蕾 张志明 沈荷生 戴永兵 
教育部上海交通大学薄膜与微细技术重点实验室基金资助项目
利用热丝大面积金刚石薄膜气相合成 ( CVD)装置制备了复合金刚石薄膜 ,并对其表面和断面分别进行了扫描电镜 ( SEM)、原子力显微镜 ( AFM)和 Raman光谱表征 .研究了该复合结构的介电性能 ,利用共振电路测量了高频下薄膜的介质损耗与频...
关键词：金刚石薄膜 复合结构 介电特性 
金刚石薄膜图形化技术的研究被引量：2
《航空精密制造技术》2002年第1期9-12,共4页莘海维 奚正蕾 凌行 张志明 
教育部上海交通大学微细技术重点实验室基金资助
从金刚石薄膜半导体器件的实用要求出发,比较了金刚石薄膜的各种图形化技术,研究了它们各自的特点和适用性,如播种法选择性生长、掩膜法选择性生长、离子束刻蚀和反应离子刻蚀技术等。
关键词：金刚石薄膜 图形化 选择性生长 刻蚀 
常规与纳米金刚石薄膜介电性能的比较被引量：1
《微细加工技术》2001年第4期50-55,共6页奚正蕾 莘海维 张志明 凌行 沈荷生 戴永兵 万永中 陆鸣 
教育部薄膜与微细技术重点实验室资助
用热丝CVD方法制备了常规和纳米金刚石薄膜。测量了其电阻率、介电常数和损耗角正切值。实验结果表明 ,常规金刚石薄膜的电导率、损耗角正切值均小于纳米金刚石薄膜 ,介电性能比较理想。两种薄膜的介电常数基本相同 ,损耗角正切值在1 0 ...
关键词：金刚石薄膜 纳米金刚石薄膜 介电性能 
微系统集成大面积智能化衬底技术研究
《微细加工技术》1999年第3期49-53,共5页汤玉生 凌行 戴庆元 沈志广 
智能化衬底技术既是集成微系统的载体，也是微系统集成的手段。采用真空盒吸片技术开发了一种实用的智能化衬底技术工艺方法。真空盒吸片技术解决了芯片的初始定位（对准装片）及芯片位置和共平面性的保持，确保了可用 Ｉ Ｃ工艺完成...
关键词：微系统 智能化衬底 真空盒吸片技术 IC MIC 
KOH蚀液的PN结自致蚀停技术研究被引量：1
《微细加工技术》1997年第2期43-48,共6页汤玉生 沈志广 戴庆元 凌行 颜景沪 徐秀琴 
KOH碱性蚀液的PN结自致蚀停电化学腐蚀技术是制备硅三维微结构的基本方法之一。本文详细研究了它在90℃的PN结自致蚀停的基本特性，并发展了一种简化的三电极系统。该新的系统既保持了双电极系统的简便性又具备四电极系统可防错误腐蚀...
关键词：硅微结构 电化学腐蚀 自致蚀停 
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