一种新型的压力微传感器  

A Novel Pressure Microsensor

作　　者：李琦[1] 周浩敏[1] 

机构地区：[1]北京航空航天大学自动化学院,北京100083

出　　处：《仪表技术》2001年第6期50-52,共3页Instrumentation Technology

摘　　要：介绍一种新型的压力传感器 ,即静电激励电容拾振的硅谐振压力微传感器。该传感器在可靠性、测量精度、体积、重量等方面都有传统的传感器所不能比拟的优点。实验结果表明 ,其测量精度可以达到 0 .0 2 1%F .S。A novel pressure sensor is presented and analyzed in this text.Compared with the traditional sensors, this new sensor has more virtues on the reliability, precision of measure, volume, weight and so on.

关 键 词：硅谐振 压力传感器 结构 工作原理 性能 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]