微压力传感器

作品数:38被引量:143H指数:7
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SAW微压力传感器声流耦合域建立与分析
《仪表技术与传感器》2021年第12期23-27,共5页沈祥翼 李媛媛 江蓓 
国家自然科学基金项目(61803254)。
在外界流体环境微扰动影响下,声表面波(surface acoustic wave)微压力传感器相关参数会发生改变,影响测量数据。文中使用有限元分析方法,建立一种声表面波与流体域耦合模型。通过COM⁃SOL软件仿真,分析对比数据结果,发现在0~300 MHz频率...
关键词:声表面波传感器 多物理场 耦合模型 有限元仿真 流体扰动 
SAW微压力传感器及其双频微带天线设计被引量:6
《传感器与微系统》2021年第9期94-97,共4页许浩源 李媛媛 马连杰 
通过COMSOL软件对声表面波(SAW)微压力传感器进行有限元仿真设计。为了适应SAW微压力传感器谐振频率低、尺寸小的特点的特性,本文通过使用加载容性负载和短路探针的方法,设计了一种双频微带天线。该设计拥有两个通带,其中有一个通带保...
关键词:声表面波 传感器 双频微带天线 
高精度谐振式硅微压力传感器的信号采集与误差补偿技术研究
《新一代信息技术》2021年第14期26-31,40,共7页潘敏杰 王岩 周国辉 
谐振式硅微压力传感器是一种通过检测机械结构谐振频率的变化来感知外界压力的高精度压力传感器。其特点是尺寸小、精度高、稳定性好,具有广阔的应用前景。高精度频率输出信号的采集与建模补偿是提高谐振式压力传感器输出精度的重要手...
关键词:谐振式 压力传感器 外部中断 输入捕获 样机 
声表面波微压力传感器的信号调理电路设计被引量:4
《压电与声光》2018年第6期884-887,共4页邵勐 李媛媛 刘烨 
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(61703269)
声表面波传感器因其独特的设计原理,具有体积小,无源无线,精度高等特点,在物理和生物领域应用广泛。针对声表面波输出频率信号采集复杂的问题,该文设计了一类信号调理电路,通过谐振选频电路稳定输出信号,并通过滤波、放大、整形将输出...
关键词:声表面波(SAW) 信号调理 谐振 滤波 MULTISIM仿真 
现代传感器中的微电容检测技术被引量:1
《电子制作》2018年第19期57-60,共4页闫世源 
本文介绍了微电容检测在原理、制作和应用上的优势。综述了微电容检测技术在微加速度传感器、微陀螺和微压力传感器上的应用,并详细阐述了微电容检测电路的基本原理。最后分析总结了微电容检测技术的发展方向。
关键词:微电容检测 微加速度器 微陀螺 微压力传感器 
基于WSN的声表面波微压力传感器的研究被引量:2
《测控技术》2018年第5期92-96,100,共6页李济同 李媛媛 王俊 张石晶 
无线传感器网络是一种新型综合智能信息系统,它在实现数据采集、信息感知、智能控制方面展现了较高的应用价值。无线传感器网络技术在灵敏性、容错性、可扩展性和连通性等方面的要求决定了它面临着许多制约因素和挑战性问题,亟待解决和...
关键词:无线传感器网络 声表面波 微压力传感器 有限元分析 
考虑温度影响的高灵敏度微压力传感器被引量:2
《半导体光电》2017年第6期806-809,867,共5页乔晶 陈德媛 段亚丽 梁吴燕 谷云斌 
江苏省自然科学基金项目(BK20160909;20130874);江苏省研究生创新项目(YLX_0801;SJLX15_0376);江苏省高校教育基金项目(JB510025);南京邮电大学校内项目(NY214051;215084)
提出了一种考虑温度影响的基于光子晶体的微压力传感器,传感器由微压力传感和温度传感两部分构成,其中微压力传感部分测量的是所处温度环境下的压力值。两部分传感器均利用波导和腔的耦合实现带阻滤波功能,根据带阻滤波器的模式在所处...
关键词:光子晶体 压力传感器 温度 悬臂 
碳化硅压力传感器结构仿真及优化被引量:3
《电子世界》2017年第22期12-14,共3页李帅 王建平 
SiC半导体材料因具备较大的禁带宽度、高临界电场强度、高热导率和高载流子饱和漂移速度而成为制作高温、高压、大功率及耐辐射电子器件的极有希望的材料。本文首先介绍了分析薄膜应变所用的弹性力学和板壳理论。
关键词:SiC压力传感器 压力传感器应变膜 有限元分析方法 微压力传感器 
基于柔性电极结构的薄膜电容微压力传感器被引量:13
《传感技术学报》2016年第7期977-983,共7页姚嘉林 江五贵 邵娜 史云胜 田佳丁 杨兴 
国家自然科学基金项目(51375263);国家自然科学基金项目(11162014)
基于柔性电极结构,本文设计、制作了薄膜电容微压力传感器,在阐述传感器工作原理的基础上,提出了两种设计思路,即基于柔性纳米薄膜的电容式微压力传感器和具有微结构的柔性电极薄膜电容式微压力传感器,并结合传感器的结构和柔性材料的...
关键词:柔性MEMS 电容式 压力传感器 柔性电极 
传感器接口电路中电桥电路的应用被引量:1
《电子制作》2016年第2期85-86,共2页王时 晁雯 高菲 李安琪 梁伟 林美玫 
利用惠斯通电桥滤出微压力传感器所输出的模拟变量,再运用INA118放大器放大该信号,用7715A/D实施转换模数,再将转换完成后的数字量通过单片机进行处理,最终由LCD负责显示。
关键词:微压力传感器 电桥电路 放大电路 显示 
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