现代传感器中的微电容检测技术  

作　　者：闫世源 

机构地区：[1]洛阳市第一高级中学,河南洛阳471000

出　　处：《电子制作》2018年第19期57-60,共4页Practical Electronics

摘　　要：本文介绍了微电容检测在原理、制作和应用上的优势。综述了微电容检测技术在微加速度传感器、微陀螺和微压力传感器上的应用,并详细阐述了微电容检测电路的基本原理。最后分析总结了微电容检测技术的发展方向。

关 键 词：微电容检测 微加速度器 微陀螺 微压力传感器 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]