姚嘉林

作品数：1被引量：13H指数：1
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供职机构：南昌航空大学航空制造工程学院更多>>
发文主题：压力传感器薄膜电容微压力传感器电容式电极结构更多>>
发文领域：自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《传感技术学报》更多>>
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基于柔性电极结构的薄膜电容微压力传感器被引量：13
《传感技术学报》2016年第7期977-983,共7页姚嘉林 江五贵 邵娜 史云胜 田佳丁 杨兴 
国家自然科学基金项目(51375263);国家自然科学基金项目(11162014)
基于柔性电极结构,本文设计、制作了薄膜电容微压力传感器,在阐述传感器工作原理的基础上,提出了两种设计思路,即基于柔性纳米薄膜的电容式微压力传感器和具有微结构的柔性电极薄膜电容式微压力传感器,并结合传感器的结构和柔性材料的...
关键词：柔性MEMS 电容式 压力传感器 柔性电极 
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